Proprietary ETRI OOO 연구소 ( 단, 본부 ) 명 1 IMOD 구동을 위한 산화물 TFT 기술 융합부품 · 소재연구부문 ETRI Technology Marketing Strategy ETRI Technology Marketing Strategy IT R&D.

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1 Proprietary ETRI OOO 연구소 ( 단, 본부 ) 명 1 IMOD 구동을 위한 산화물 TFT 기술 융합부품 · 소재연구부문 ETRI Technology Marketing Strategy ETRI Technology Marketing Strategy IT R&D Global Leader 박상희 (shkp@etri.re.kr) 산화물전자소자연구팀

2 Proprietary 2 1. 기술의 개요 ▣ 산화물 TFT 기술  “ 과제와 과제와 과제를 수행하여 얻은 산화물 TFT 관련 기 술  산화물 TFT (thin film transistor) 기술이란 ? - 게이트 전극, 게이트 절연막, 산화물 반도체, 소스 / 드레인 전극으로 구성된 소자로 서 특히 산화물 반도체는 InGaZnO 등의 산화물 반도체로 구성된 TFT 이며 이의 제조 공정 기술 - 산화물 TFT 의 전기적 안정성 확보 기술 : TFT 는 특정시간 동안 특정 온도에서 양의 전압과 음의 전압을 따로 가했을 때 가해준 Vgs 신호에 따라 흐르는 Ids 값이 일정 할수록 안정성을 갖는다고 말하며 이러한 전기적 안정성은 제조법에 따라 영향을 받으므로 고안정성을 갖도록 공정설계 / 제조기술을 필요로 함 ETRI 융합부품 · 소재연구부문

3 Proprietary 3 ▣ 산화물 TFT 의 필요성  TFT-LCD : TFT with higher mobility than a-Si TFT ( large size, high resolution, 3D)  AM-OLED : TFT w uniformity and stability for large size of gen. 8  플렉시블 디스플레이 : 저온 공정에서 안정한 소자 확보 가능  투명디스플레이 1. 기술의 개요 ETRI 융합부품 · 소재연구부문

4 Proprietary 4 1. 기술의 개요 ETRI 융합부품 · 소재연구부문 ▣ 산화물 TFT 로 구동하여 개발한 디스플레이

5 Proprietary 5 1. 기술의 개요 ETRI 융합부품 · 소재연구부문 ▣ 산화물 TFT 로 구동하여 개발한 디스플레이

6 Proprietary 6 1. 기술의 개요 ETRI 융합부품 · 소재연구부문 산화물 TFT 구조 ▣ 산화물 TFT 로 구동하여 개발할 IMOD 디스플레이

7 Proprietary 7 2. 기술이전 내용 ▣ 기술 이전 범위  산화물 TFT 제조 공정 관련 know –how 기술 : IGZO 산화물 TFT 특성 최적화 기술 ( 기술문서 제공 )  PL ( 산화물 protection layer) 를 포함하는 소자 공정 관련 특허 실시권 제공  산화물 TFT 소자 제작 기술전수 : know-how 기술을 바탕으로 기술 이전 업체에서 전기적으로 안정한 소자 제작이 가 능하도록 제조 공정 기술전수  문서 : 산화물 TFT 제조 공정 기술전수와 관련한 문서 작업 ( 기술이전 업체와 같이 진행 ) ETRI 융합부품 · 소재연구부문

8 Proprietary 8 3. 기술이전 내용 ▣ 기술 이전 상세 내용 ETRI 융합부품 · 소재연구부문  과제와 과제와 과제 수행 중 개발된 산화물 TFT 제조 공정 관련 know-how 기술 및 기술 문서

9 Proprietary 9  PL ( 산화물 protection layer) 를 포함하는 소자 공정 관련 특허 실시권 제공 (KR-0857455): 반도체층과 원자증착법을 이용한 게이트 절연체층을 연속적으로 증착하여 계면을 보호하는산화물 트랜지스터 제조법  산화물 TFT 소자 제작 기술전수 3. 기술이전 내용 ▣ 기술 이전 상세 내용 ETRI 융합부품 · 소재연구부문

10 Proprietary 10 3. 경쟁 기술과 비교 ▣ 산화물 반도체 TFT 의 장점 ETRI 융합부품 · 소재연구부문

11 Proprietary ETRI OOO 연구소 ( 단, 본부 ) 명 11 3. 경쟁기술과 비교 ▣ ETRI 산화물 TFT 기술력 ETRISMD 소니 이동도 (cm 2 /V.s) 3020 30 안정성 양산성 측면에서의 소자구조 Off-current 기생축전량

12 Proprietary ETRI OOO 연구소 ( 단, 본부 ) 명 12 4. 기술의 사업성 ▣ 활용분야 및 기대효과  활용방안 - 산화물 TFT 상용화 ( 전자소자 / 평판디스플레이 ) - AM-IMOD 상용화  기대성과 - 산화물 TFT 로 구동하는 저소비 전력 반사형 디스플레이의 상용화 - 산화물 TFT 를 이용한 다양한 방식의 평판디스플레이의 상용화 : AMOLED, TFT-LCD, 전자종이 산화물 TFT 를 이용한 전자회로를 내장한 신규 전자부품 제품 - 투명 산화물 TFT 를 이용하여 기존의 실리콘 TFT 를 대체함

13 Proprietary ETRI OOO 연구소 ( 단, 본부 ) 명 13 4. 기술의 사업성 ▣ 기술이전 업체 조건  제품 상용화를 목적으로 하는 업체  디스플레이 관련 생산라인을 보유하고 있는 업체  제품화에 걸리는 시간 : 3~ 4 년 ▣ 사업화 시 제약 조건  프로토 타입의 제품개발과는 달리 양산성에서는 제품의 균일도 ( 수율 ) 이 중요한 요소로 작용  타기술 ( 예 ; LTPS) 과의 경쟁에서 기술적으로, 가격적으로 지속적인 우위를 점유 해야함  신규기술의 도입에 대한 보수성

14 Proprietary 14 5. 기술의 사업성 ETRI 융합부품 · 소재연구부문 관련 제품 / 서비스 시장 1 차년도 (2014) 2 차년도 (2015) 3 차년도 (2016) 4 차년도 (2017) 5 차년도 (2018) 휴대폰 해외 100 200300500 국내 224610 다른 휴대기 기 해외 100 200300400 국내 22468 시장자료 근거 : 디스플레이뱅크 ( 투명디스플레이 기술동향자료 (2011) 에서 기존의 모바일 시장 예측치에 근거함 전체시장에서 반사형디스플레이의 비율을 10% 로 예측 ) ▣ 시장 전망 ( 산화물 TFT 로 구동하는 IMOD) ( 단위 : 백만불 )

15 Proprietary 15 5. 기술의 사업성 ▣ 산화물 TFT 예상 응용 제품 ETRI 융합부품 · 소재연구부문 source :Displaybank, “Transparent Display Technology and Market Forecast (2011)

16 Proprietary ETRI OOO 연구소 ( 단, 본부 ) 명 16 감사합니다. ♣ 연락처 : ETRI 융합부품 · 소재연구부문 박상희 팀장 (042-860-6276,shkp@etri.re.kr) www.etri.re.kr