COMPANY PROFILE February 20th, 2012 CSK Inc.

Table of Contents 01 Company Identify 02 회사개요 03 회사연혁 04 조직 및 인원구성 현황 02 회사개요 03 회사연혁 04 조직 및 인원구성 현황 05 제품 Line Up 06 CSK 기술개발 현황 07 세계속의 CSK

반도체/태양광/디스플레이 최첨단 장비 기술 선도기업 01 Company Identify 반도체/태양광/디스플레이 최첨단 장비 기술 선도기업 Plasma & Wet Abatement Burn & Wet Abatement Thermal Wet Abatement - 고온 PLAMA를 통 한 PFC GAS 처리 기술 - 전자동 System 제어기술 - 폐가스 처리 기술 - De-Nox 연소기술 - E-Saving 기술 - 대용량 GAS 처리 기술 (COSMOS) GAS Abatement 장비사업 PDS 장비사업 ARS (Auto Refill System) Accessory - CCSS 대용량 Chemical 중앙 공급 기술 - 세계 최고의 Precursor 정량 정밀 공급 기술 - High-K Material, Solvent Purge Concept의 기술력 - 2차배관 가설작업, 2중 배관을 포함한 Hook-up - 소화설비 등 Safety Device Total Solution - 적용 Canister 제작

02 회사개요 회사개요 주주구성 한양이엔지 Tomoe Shokai CS German 대표이사 김 형 극 대표이사 설립일 02 회사개요 회사개요 주주구성 대표이사 김 형 극 대표이사 설립일 1997년 07월 주소 경기도 용인시 처인구 포곡읍 금어로 268 주요사업 반도체/태양광/디스플레이 장비 자본금 13억 임직원수 256명 (2012년 2월 기준) 홈페이지 http://www.csk.kr CSK Inc. 는 “한양이엔지” , “CS German”, “Tomoe Shokai” 3社의 Joint Venture로 설립되었음 한양이엔지 CS German Tomoe Shokai

새로운 기술개발과 끊임없는 도전으로 세계로 뻗어나가는 기업 03 회사연혁 새로운 기술개발과 끊임없는 도전으로 세계로 뻗어나가는 기업 끊임없는 기술개발로 글로벌 기업 도약 신 성장동력으로 고도 성장 PW 개발로 국내 및 해외 시장 확대 ATTO 합병후 BW으로 국내시장 석권 반도체 시장 진입 확대 글로벌기업 도약기 (08~) Dry 장비로 시장 주도권 확대 성장기 (05~07) 2008. 02 ㆍCHAOS(P&W) 장비 양산시작 2008. 08 ㆍISO 9001/14001 인증 갱신 2009. 03 ㆍCOSMOS3000 갱신 2009. 12 ㆍISO 27001 인증 획득 2010. 10 ㆍCSK TAIWAN 설립 2012. 01 ㆍ 로 사명 변경 05 ㆍCSK CHINA 설립 예정 기반 구축기 (97~05) 2005. 11 ㆍATTO Scrubber 사업부 인수 2006. 02 ㆍ국세청 모범 납제자상 수상 2006. 11 ㆍ고도기술 업체 선정 2007. 02 ㆍ기업부설 연구소 인가 2007. 03 ㆍ기술혁신형 중소기업 인증 2007. 04 ㆍ용인 신사옥 중공 및 이전 2007. 04 ㆍ차세대 환경기술개발사업 선정 2007. 11 ㆍ천만불 수출의 탑 달성 대표이사 대통령 표창 수상 1997. 07 ㆍ한,독,일의 합작투자 설립 2002. 04 ㆍ크린사업장 선정 05 ㆍDry Abatement 장비 국산화 2003. 12 ㆍTCT 제품 개발 (PDS) 2004. 10 ㆍERP system 도입 2005. 08 ㆍISO 9001/14001 일증

04 조직 및 인원구성 현황 조직현황 인원구성 현황 CSK의 전체 인원중 76%가 기술인력임 CEO 기술 연구소 14명 04 조직 및 인원구성 현황 조직현황 인원구성 현황 CSK의 전체 인원중 76%가 기술인력임 R&D 1,2,3 Abatement 사업부 영업, 서비스 경영기획부 CEO PDS 사업부 영업, 서비스 재무부 CSK Texas 관리부 기술 연구소 14명 설계 및 SW 장비 개선 5 서비스 기술 지원 159 CSK Taiwan 제조부

고객의 NEEDS에 맞는 TOTAL 솔루션을 제공하는 제품 Line Up 05 Product Line 고객의 NEEDS에 맞는 TOTAL 솔루션을 제공하는 제품 Line Up Burn & Wet Abatement System 반도체, LCD, LED, 태양광 공정 전반에 사용되는 독성 , 유해 GAS를 연소를 통해 안전하게 처리하는 친환경 장비 Plasma & Wet Abatement System PFC외 여러 유해 GAS를 고온 Plasma를 통해 정화 처리하는 차세대 장비 대용량 Thermal & Wet Abatement System 태양광 , LCD 공정 전반에 사용되는 대량의 폐가스를 전기 히터로 처리 하는 대용량 장비 Thermal & Wet Abatement System 가연성, 자연발화성 GAS(NH3, SiH4, NH3) 를 전기 히터로 산화시켜 정화 하는 장비 Dry Abatement System 유해 가스를 약제를 통해 화학 적인 흡착을 통하여 처리하는 장비 Precursor Delivery System 반도체, 태양광, LCD에 제조공정에 사용되는 전구체를 정량 상시 안전하게 공급할 수 있는 PDS 장비 제품군

06 CSK 기술력 진보적인 기술력 기술개발 현황 진보적인 차세대 기술력 확보로 지속성장 실현 P/W , 대용량 장비 등 - Burn Wet 장비의 연소기술 및 De-NOx 기술 보유 - 차세대 Plasma Wet 장비의 돋보적 기술력으로 글로 벌 선두 기업 위치 확보 진보적인 차세대 기술력 확보로 지속성장 실현 P/W , 대용량 장비 등 차세대 기술력 확보 국내특허 등록 13건 B/W , PDS 자체 기술 개발 Dry 선진 기술 습득 해외특허 등록 5건 안전 인증 22건

07 세계속의 CSK 신뢰높은 기술력으로 전세계 고객이 선택한 (전세계 5,045대 설치)

첨부 1. Install Base in world wide [Gas Abatement System] [Precursor Delivery System] 구분 국가 Customer Scrubber Type Q’ty 국내 - Samsung Burn & Wet 1,220 Dry 1,228 Hynix Plasma & Wet 351 280 etc 1 42 Thermal & Wet 113 Wet 21 14 해외 미국 SAS 348 64 대만 TSMC 150 30 중국 Hynix Wuxi 137 178 243 32 TOTAL 4,452 구분 국가 Customer PDS Type Q’ty 국내 - Samsung TDS 284 TCT 124 CSS 9 VMB 12 Hynix 74 8 16 Etc. 10 해외 중국 Hynix Wuxi 32 대만 Visera 1 미국 IBM 일본 Fuji TOTAL 593 구분 국가 설치수량 (SCR + PDS) 국내 - 3,819 해외 미국 413 중국 631 대만 181 일본 1 전체 5,045