차세대 디스플레이 연구센터 Advanced Display Research Center http://adrc.khu.ac.kr Kyung Hee University Advanced Display Research Center http://adrc.khu.ac.kr 차세대 디스플레이 연구센터 사업 개요 경희대학교 차세대 디스플레이 연구센터 (ADRC)는 산업자원부 지원을 기반으로 디스플레이용 핵심공정장비를 구축하여, TFT-LCD, AMOLED, FED 소형 디스플레이의 시제품 제작, 시뮬레이션 및 설계, 단계별 공정 서비스, 디스플레이용 재료·부품 성능평가 및 연구인력양성을 지원합니다. 사업 기간 : 2001. 6. 1 ~ 2006. 3. 31 (총 58개월) 총 사업비 : 1,486,120 천원 ( 정부출연금: 1,000,000 천원, 민간 부담금: 486,120 천원) 총괄 책임자 : 장 진 교수 사업 목표 및 내용 1. 박막트랜지스터(TFT)용 박막 재료 증착, TFT 제조 및 TFT-array 제작을 위한 공정장비 및 공정 기술 구축 전용공간 구축 : 약 320평 (청정실, 실험실, 측정실, 연구실, 행정실, 세미나실 등) 2. TFT-LCD, AMOLED 및 FED 제작을 위한 공정장비 및 공정기술 구축 3. 디스플레이 분석 장비 및 분석 기술 구축 (재료, 소자의 특성 및 신뢰성 평가) 입구 청정실 4. 디스플레이 소자와 회로 simulation이 가능한 장비 및 기술 구축 Process Etching TFT-LCD FED AMOLED Organic electronics Information material TFT array 기술 활용 신재료부품의 성능 및 신뢰성 검사 중소기업의 새로운 아이디어 Photo Nano electronics < ADRC 전용공간 구조도 > TFT(박막트랜지스터) 관련 공정 장비 구축 TFT 관련 설계, 공정 및 panel 제조 기술 보유 LC-cell Simulation 1. Simulation & Design of LC/OLED Glass ITO patterning ITO deposition for pixel electrode Gate bus line patterning Active island patterning Active layers deposition Data bus line patterning S/D metal deposition N+ a-Si:H back channel etch Via hole patterning & etch Gate metal deposition Bus line patterning Via hole patterning Planarization layers deposition Bank patterning Bank layer deposition Device Simulation LC/OLED Simulation Mask Design Circuit Simulation 2. TFT Backplane for AMLCD 3. TFT Backplane for AMOLED 차세대 디스플레이 연구센터(ADRC) 핵심 기술 사업 성과 중소기업 3D display 공동연구개발 OLED 재료 업체와의 공동 연구 ADRC 에서 30종 이상의 장비 (Color filter, TFT backplane, 구동 driver IC) 사용 2.0 inch stereoscopic display 25 종의 장비 사용 (Simulation(2종), Sputter (2종), PECVD (3종), Etching (3종), Lithography system(5종) 측정 장비 (5종) 외국 user 유치 성과: AMOLED용 backplane 개발 성공 새로운 3D display 제품 검증 (50억 이상 가격 절감) 중소기업과 5.5인치 3D display 시제품 개발 기업의 디스플레이 개발 Linear Polarizer Polarized Glasses 41 % Aperture Ratio Free Viewing Distance Viewing Angle 174 ㎛ × 58 ㎛ Sub-pixel Size VGA (640 × 480 × RGB) Resolution 5.5 inch Diagonal Panel Size Design of 5.5 inch 2D/3D display 2.0 inch LTPS AMLCD 3.6 inch non-laser AMOLED (최초) Date driver IC (TCP type) 5.5 inch 83520 111360 Gate driver IC (COG type) BM Seal line 2D/3D display board 업체와 공동연구 업체와 공동연구 3D display 2D display 플렉서블 AMOLED 제작 중소기업과 새로운 구조의 3D display 개발 4.1 inch AMOLED with top-emission on metal foil L R Right Eye Left Eye Circular Polarized Glasses Liquid Crystal Conventional TFT panel Wire grid polarizer (135 o) 1/4 Retarder 3/4 Retarder Conventional polarizer (45 o) Backlight Joint developed by KHU and Samsung SDI - 150-㎛ metal foil - One-side polishing - Two-step annealing (RTA + Furnace annealing) - AMOLED / metal foil Next generation of 3D TV 양산 공정에 가능한 단순한 구조 개발