현미경 분해능(Abbe’s law) R = = 400 nm = 1.7 Sin = 0.9 R = 150 nm M = 1000
전자현미경 분해능 R = 가속전압 200kV 일 때 = 0.00251 nm = 5 10 rad Light: 400nm R = 0.3 nm Light: 400nm Electron: 0.004nm at 100keV 0.00251nm at 200keV
De Broglie’s Wavelength 전자의 파장 De Broglie’s Wavelength 가속전압(kV) 100 200 300 1000 파장(nm) 0.0037 0.00251 0.00197 0.00087 = =
Electromagnetic Range
전자와 시편의 상호작용(비탄성산란) 2θ Incident Beam (Primary electron) Backscattered electron Auger electron Secondary electron(SEM) Cathodoluminescence X-ray Absorbed electron Specimen 2θ Transmitted electron(TEM)
전자와 시편의 상호작용
K X-ray Generation
Topographic Contrast
Atomic Number Contrast
SEM Image Produce
Magnification