Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 재료물성 이해를 위한 재료분석법 손 광 석 동아대학교 공동기기센터

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1 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 재료물성 이해를 위한 재료분석법 손 광 석 동아대학교 공동기기센터 conan@donga.ac.kr

2 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 목 차 재료공학이란 ? 재료 분석법 투과전자현미경의 구조 투과전자현미경을 이용한 분석기술 XRD 소개 회절 이론

3 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 재료공학이란 ?

4 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 재료의 분류 금속재료 세라믹 유기재료 무기재료 복합재료

5 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 재료의 분류 구조용 재료 기능성 재료 전기적 특성 자기적 특성 화학적 특성

6 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 구조에 따른 재료의 기계적 특성 고분자 재료 금속 재료 세라믹 재료

7 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 재료구조활용예

8 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 재료공학이란 ? 재료에서 발생하는 다양한 현상의 이해 재료의 물성 향상 신소재 개발 메커니즘연구이용방안모색

9 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 재료공학도의 연구분야 ? 재료공학 생산공정개발 및 관리 신소재개발 물성 및 특성 평가 정성, 정량분석

10 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 재료분석법

11 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 재료 분석법 정성 정량 분석법 구조분석법 화학성분 분석 ICP, AA, EDS, WDS, EELS, SIMS etc. 구조분석 SEM, TEM, XRD etc.

12 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 전자현미경이란 ?광학현미경전자현미경광원가시광선전자선 광원의파장 약 1 micron 수 angstrom 이내 결상방식유리렌즈자계렌즈 관찰방식 육안, 음화필름 등 형광스크린, 카메라

13 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 현미경 구조

14 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 주사전자현미경

15 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. Applications Metal : 내부조직, 미소결함 ( 공공, 전위, 적층결함 ), 잔류응력 Thin film : 막의 두께, 결정성, 결함 Powder : 크기, 내부조직, 결함 전자현미경의 특징 높은 입사빔 에너지로 인한 radiation damage - 유기물 및 저 융점 재료의 경우 특수한 전처리가 요구 고 진공 조건 : 고가장비 전자의 높은 산란도 및 흡수도로 인하여 100nm 이하의 두께로 시편제작 복잡한 시편 전처리

16 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab.  TEM 영상 : bright & dark field image

17 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab.  TEM 영상 : bright & dark field image 쌍정 적층결함

18 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab.  TEM 영상 : high resolution image

19 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab.  TEM 영상 : Convergent beam electron diffraction: CBED FCC structure

20 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 투과전자 현미경 전자회절화학분석영상분석 미세구조해석 명시야상 (BF) 암시야상 (DF) Lattice Imaging HR TEM 결정구조 분석 제한시야 회절 (SAD) KiKuchi 도형 수렴성빔 전자회절 화학성분 분석 에너지분산 분광법 (EDS) 에너지손실전자 분광법 (EELS) 투과전자현미경의 기능

21 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 고분해능 X 선 회절기

22 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 회절이론 브래그 회절

23 Dong-A UniversityMaterials Processing Lab. 회절도형의 형성원리