CONVUM 제품 소개 2005 년 10 월. CONTENTS 1. 진공 패드 2. 압력 센서 3. 진공 펌프 4. 진공 발생기 / 절환밸브 5. 신제품.

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1 CONVUM 제품 소개 2005 년 10 월

2 CONTENTS 1. 진공 패드 2. 압력 센서 3. 진공 펌프 4. 진공 발생기 / 절환밸브 5. 신제품

3 재질칼라특징사용온도 및 경도 니트릴 (N) 주 1 검은색내유성 내마모성 내노화성 우수 -10 ~ 130 ℃ /55 ⁰ 실리콘 (Si) 유백색내열 내한성 우수, 무취 무독성 -30 ~ 200 ℃ /55 ⁰ 우레탄 (U) 청색내마모성 우수 역학적 강도 우수 0 ~ 80 ℃ /55 ⁰ 불소 (F) 주 2 검은색 / 백색점내열성 내약품성 주 3 우수 -20 ~ 150 ℃ /70 ⁰ 클로로플렌 (CR) 녹색내후성 내오존성 내열성 내약품성 -/55 ⁰ 천연고무 (NR) 노란색내마모성 역학적 성질 우수 -/40 ⁰ 도전성 니트릴 (NE) 검은색 / 청색점니트릴 + 도전성 -10 ~ 130 ℃ /70 ⁰ 도전성 실리콘 (SE) 검은색 / 적색점실리콘 + 도전성 -30 ~ 200 ℃ /55 ⁰ 마크레스 패드검은색 / 은색점니트릴 대비 흡착자국 1/30-/70 ⁰ 패드 고무의 종류와 특징 주 1. 전체의 약 80% 가 NBR 이고 특징의 비교 기준은 NBR 임. 주 2. 바이톤 ( 듀폰 브랜드 ) 주 3. 알칼리에 약하고 산성에 강함 1. 진공 패드

4 패드 시리즈 특징애플리케이션 PA 패드의 립 부분이 아주 얇은 흡착 패드 (1mm 이하 ) 필름형태의 워크 PB 자바라 패드 PJ 타입보다 립 부분이 두꺼움. 동판 보드 PC 3 단 자바라 패드둥근 파이프, 무늬가 있는 플라스틱, 골프공 PCD 가운데 구멍이 있는 워크의 흡착반송 CD DVD PD 스펀지패드표면에 요철이 있는 워크 PDTM 소구경 독포 스펀지 고무 패드반원형 요철이 있는 워크 BGA PE 특주 패드 PF 표준형 흡착 패드. 동판 보드 등 표면이 평평한 워크 PH 심형 패드흡착면 내부에 요철이 있는 워크 PJ 자바라 패드. 패드의 립 부분이 얇아서 밀착성이 좋음기울기가 있는 워크 외, 종이 비닐에 적합 PK 금속제 심이 없는 환경패드자동차등 ISO 14000 용 에코패드 PN 박형 패드비닐 봉지의 입구 개폐에 적합 PQ 회전 금지 패드방향성이 있는 워크에 적합 PR 봉재용 패드작은 직경의 봉재에 적합 PS PF/PJ 패드에 금형이 붙은 간단한 패드 PU 평형 헤드 진동형 패드흡착면이 수평이 아닌 워크에 적합 PW 장환형 패드워크 스페이스가 타원형일 때 적합 RA 신재질의 패드로 패드의 자국이 줄어듬 IC 관련, 액정 관련 등의 흔적관리 업체 1. 진공 패드 패드 시리즈

5 PA PB PC PCD PDPDTM PEPFPHPJPKPN PQPRPSPUPW 1. 진공 패드 패드 시리즈

6 1. 진공 패드 마크레스패드 시리즈 -RA 패드 패드 표면에 전자선 ( 산소 플라즈마 ) 를 조사하여 표면의 분자 구조를 변형시켜 유분 등의 유출을 방지합니다. 액정, 유리 기판 등에 최적입니다. 광선을 조사하면 고무의 분자 결합 구조 가 강해집니다. 분자간의 결합을 강하게 하여 패드 성분으로 인한 흡착 자국을 경감하는 데 효과적입니다. 기존패드의 분자 이미지 RA 패드의 분자 이미지 RA 패드의 효과 분자간 결합이 강화되어 고무의 탄성율이 향상됩니다. 흡착 자국, 흡착성, 점착성 등이 경감되어 글래스 기판 반송에 최적입니다.

7 1. 진공 패드 마크레스패드 시리즈 -CORE 패드 표준 패드에 부착하여 흡착 자국 방지, 내열 사양으로 변신 ! 슈퍼 엔지니어 플라스틱이나 금속제의 「코어」를 PJG/PCG 패드에 붙이는 것으로 흡착 자국 방지, 내열 사양 변경이 가능합니다. 「코어」는 용도에 맞추어 형태 재질 선택이 가능합니다. 사양 사용 가능 패드와 직경 PJG 시리즈 (φ10 ～ φ50) PCG 시리즈 (φ10 ～ φ50) 흡착 반송의 주요 적용 사례 LCD 디스플레이 / 유기 EL LCD 내부의 백라이트유닛 글래스 보드 실리콘 웨이퍼

8 2. 압력센서 센서 라인업 시리즈명개요압력범위 kPa MPS- ２장방형 디지털 표시방식 -101 ～ 0 MPS- ３ / ３１정방형 디지털 표시방식 -101 ～ ０、 -101 ～ 500 、 0 ～ 1000 MPS- ４미세차압 디지털 표시방식 -101 ～ ０、 -2 ～ 2 、 MPS- ５스텐레스 다이아프램 센서 헤드 -101 ～ ０、 -101 ～ 500 、 0 ～ 1000 MPS- ６공기압용 센서헤드 (16mm 폭 )-101 ～ ０、 -101 ～ 500 、 0 ～ 1000 MPS- ８공기압용 센서헤드 (10mm 폭 )-101 ～ ０、 -101 ～ 500 MPS- ７１ / ７４ / ７８디지털 표시기 ( １ＣＨ、４ＣＨ、 ８ＣＨ ) MPS-5/6/8 접속 MPS- ９ 10mm 폭 초소형 디지털 표시 압력 센서 -101 ～ 0 、 -101 ～ 500 M ＶＳ－０３０ＡＢ CONVUM 탑재용 -10.1 ～ -101.2 MVS- ０３５Ｇ CONVUM 탑재용, 아나로그출력 첨부 -2.7 ～ -10..2 ＭＶＳ－０７０ CONVUM 탑재용, 디지털 표시기능 탑재 0 ～ -99.9 MVS- ２０１전자밸브제어 첨부 디지털 압력 센서 -101 ～ 500 ＣＶＡ－Ｖ CVA CONVUM 탑재 전용, 기계식 진공 스위치 -33.3 ～ -73..2

9 2. 압력센서 MPS- ※ 31 시리즈 MPS- ※ 3 시리즈 MPS- ※ 3S5 시리즈 MPS- ※ 3SR 시리즈 경합비교 (S 사 )

10 2. 압력센서 경합비교 (S 사 ) MPS- ※ 8 시리즈 MPS- ※ 71 ＋ 74 ＋ 78 시리즈 MPS- ※ 5 시리즈

11 2. 압력센서 경합비교 (K 사 ) MPS- ※ 31 시리즈 MPS- ※ 3S5 시리즈 MPS- ※ 8 ＋ 74 시리즈 MPS- ※ 5 ＋ 74 시리즈

12 2. 압력센서 경합비교 (SU 사 ) MPS- ※ 31 시리즈 MPS- ※ 3S5 시리즈 DP2 DP-Y DPH DP5 MPS- ※ 8 ＋ 74 시리즈 MPS- ※ 3 시리즈

13 3. 진공펌프 제품라인업 CCP 시리즈 소형 / 로터리 펌프 모델배기용량도달진공도 CCP-15-L-10015L/min-55kPa CCP-30-L-10030L/min-60kPa CCP-40-L-10040L/min-60kPa VTE 시리즈 저소음 / 로터리 펌프 모델배기용량소음 (dB) 도달진공도 VTE-370L/min57 -81.3kPa VTE-6120L/min59 VTE-8160L/min61 VTE-10200L/min62 VLT 시리즈 필터내장 / 로터리 펌프 모델배기용량소음 (dB) 도달진공도 VLT-10225L/min61 -81.3kPa VLT-15342L/min63 VLT-25512L/min66 VLT-40840L/min69

14 4. 진공발생기 / 절환밸브 CONVUM 이란 ? コンプレッサ + バキューム ＝ コンバム 콘프레셔 + 바큐무 ＝ 콘바무 ＝ CONVUM 컴프레셔로 압축한 공기를 이용하여 진공을 발생시킨다. CONVUM 의 원리

15 ＣＶ 시리즈 노즐 직경： 0.5 ｍｍ～ 3.0 ｍｍ （ 6 종류） 가동부가 없어 내구성이 우수하다 기계식 진공 스위치 첨부 선택 가능 4. 진공발생기 / 절환밸브 제품 라인업 내약품 / 내가스용 CONVUM 노즐 직경： 1.0 ｍｍ～ 2.0 ｍｍ（ 3 종류） 약품 / 가스를 사용하는 반도체 제조 공정용 SUS303, SUS316 ALL PTFE CONVUM 제품 전체 PTFE 제작 (PTFE 용접 ) 내약품성이 우수하여 약품, 약액흡입 사용 가능

16 4. 진공발생기 / 절환밸브 제품 라인업 ＣＶ A 시리즈 노즐 직경： 0.5 ｍｍ、 1.0 ｍｍ (2 종류 ) 진공 발생 전자밸브 탑재 (CVF – 2 타입 ) 진공 센서 탈 / 부착 가능 필터 탑재 ＣＶ F 시리즈 노즐 직경： 0.5 ｍｍ～ 1.5 ｍｍ（ 3 종류） 전자밸브 탑재 ( 진공발생제어용） 진공 센서, 파괴 밸브 본체 탈 / 부착 가능 전자식 / 기계식 진공 센서 선택 가능

17 4. 진공발생기 / 절환밸브 제품 라인업 ＣＶ R2 시리즈 노즐 직경： 0.5 ｍｍ～ 1.3 ｍｍ (4 종류 ) 매니폴드 가능 ( 최고 10 연 ) 필터 / 체크밸브 탑재 진공 발생 / 파괴 제어용 전자밸브 탑재 ( 전기제어가능 ) 포펫밸브 내장으로 파괴유량이 큼 / 파괴유량 조절 니들 탑재 진공센서 탈 / 부착 가능 노즐직경： 0.5 ｍｍ～ 1.3 ｍｍ（ 3 종류） ＣＶ CONVUM 의 전자식 진공 스위치 탑재 타입 ＣＶ 4 시리즈

18 4. 진공발생기 / 절환밸브 제품 라인업 MC2 시리즈 노즐 직경： 0.5 ｍｍ～ 1.0 ｍｍ (3 종류 ) 본체 폭 20mm/ 수지본체로 경량 / 매니폴드 가능 필터 / 체크밸브 탑재 선택 가능 진공 발생 / 파괴 제어용 전자밸브 탑재 ( 전기제어가능 ) 포펫밸브 내장으로 파괴유량이 큼 / 파괴유량 조절 니들 탑재 진공센서 탈 / 부착 가능 노즐 직경： 0.5 ｍｍ～ 1.0 ｍｍ (3 종류 ) 본체 폭 10mm/ 매니폴드 가능 ( 최고 8 연 ) 필터, 진공 발생 / 파괴 제어용 전자밸브 탑재 포펫밸브 내장으로 파괴유량이 큼 / 파괴유량 조절 니들 탑재 진공센서 (V9 센서 ) 의 부착으로 외형이 변경 배기를 개별 외부 배기 ( 개별 포트 배기 ) MC3 시리즈

19 4. 진공발생기 / 절환밸브 제품 라인업 MC4 시리즈 노즐 직경： 0.5 ｍｍ、 0.7 ｍｍ (2 종류 ) 본체 폭 10mm/ 매니폴드 가능 ( 최고 5 연 ) 수지 본체로 경량 진공 발생 / 파괴 제어용 전자밸브 탑재 ( 전기제어가능 ) 파괴 에어는 진공 발생용과 별도의 회로 ( 별도의 압력 설정 가능 ) 진공 센서 (V9 센서부착가능 ) 의 부착으로 외형 변경 파괴유량 조절 니들 탑재

20 MC5 시리즈 노즐 직경： 0.5 ｍｍ～ 1.0 ｍｍ (3 종류 ) 본체 폭 10mm/ 매니폴드 가능 ( 최고 5 연 ) 수지 본체로 최경량 ( 싱글 70g)/ 헤드탑재가능 진공 발생 / 파괴 속도 각 20msec 실현 진공 발생 / 파괴 제어용 전자밸브 탑재 ( 전기제어가능 ) 10mm 폭 진공 센서 (V8 센서 )+MPS78 Indicator 파괴유량 조절가능 ( 출하시 설정 ) 4. 진공발생기 / 절환밸브 제품 라인업

21 4. 진공발생기 / 절환밸브 제품 라인업 MPV3 진공라인 / 소형펌프 흡착반송 매니폴드화 가능 (8 연 ) MPV4 본체폭 10mm 소형 / 경량 (54g)- 헤드장착가능 MC4 와 본체 공유 MPV6 클린룸사양 (0.01 μ m 필터장착 ) 더블솔레노이드 사양 VA01 시리즈 컴팩트 / 경량 고응답성 매니폴드화 가능

22 5. 신제품 MC7 CONVUM 항목 형식 노즐 직경흡입량도달진공도공기소비량공급압력 ㎜ L/min （ ANR ） -kPaL/min （ ANR ） MPa １５ＨＳ φ １．５５５８６．６１０００．５ １５ＬＳ φ １．５９０５３．３１０００．５ ２０ＨＳ φ ２．０９５８６．６１８００．５ ２０ＬＳ φ ２．０１３０（１１ ０） ※ ５３．３１８００．５ ２５ＨＳ φ ２． ５１４０（１２ ０） ※ ８６．６２６５０．５ １５ＨＲ φ １．５４６８６．６１０００．３５ ２０ＨＲ φ ２．０８０８６．６１８００．３５ CVK 후속 모델 ( 무게４９０ g) 대배기량 / 다기능형 CONVUM 노즐 사이즈 1.5mm ～ 2.5mm(3 종류 ) 전자밸브 탑재 진공발생 / 진공파괴 필터・센서 유닛을 사용조건에 맞춰 조립이 가능 ※ 는 체크밸브탑재시

23 5. 신제품 경쟁사 비교자료 도달진공도 (-kPa) 060708090 VTM100L1,0609664273.2 MC7140452518- 흡입량 비교 (L/min) 도달진공도 (-kPa) 060708090 VTM100L0.0070.1650.2550.411.152 MC700.0230.0310.043(0.072) 진공도달속도 (sec) 측정기준 배관 내경 : Φ 8 배관 길이 : 1,000mm

24 5. 신제품 디지털 압력 센서 MVS-201 전자밸브 제어 내장 컨범 탑재 가능 (MC2/MC7/CVK) 진공 레벨 자체설정으로 에어 소비량 감소 부 / 정압의 디지털 제어로 컨트롤라의 부담 감소 기존품 대비 I/O 배선 2 개 감소

25 5. 신제품 HFV 시리즈 진공 포트 압축공기 배기 포트 ＜ 하이플로우컨범의 특징 및 용도 ＞ 흡입유량이 공급유량의 100 ～ 200 ％ 가동부가 없는 간단한 구조 가볍고 통기성이 있는 워크의 흡착 반송 미립자물의 흡출 공기나 가스의 흡출 ＜ 흡착워크 ＞ ・기판 ・파티클 ・비부식성액체

26 5. 신제품 신형 2 경도 ECO 패드 -PKMG/PKBG 시리즈 고경도 （ NBR 95°) 저경도 （ NBR 55° ） 교환 기준 눈금 프레스공정 조립 공정

27 감사합니다.