Provide Pressure control Technology

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1 Provide Pressure control Technology
PPT Provide Pressure control Technology HSCV Series High Stability Pressure Controllers HSCV-T110 Absolute Pressure Control

2 Product Benefits Process Repeatability & High Stability Reduced CoO
Sensor Feed Back System Stepping Control Algorithm Exhaust Temp Monitor Reduced CoO N2 Shut-down Valve Not Use N2 Control Valve Easy Valve Cleaning Decrease Failure Strong point for Powder Enable Preventive Cleaning Easy Installation All In One Product Enable Standard & Reverse Stepping Motor의 정교한 제어로 ±0.3 hPa의 안정성을 갖습니다. Angle관리로 각 Process간의 재현성 관리 및 추가된 배기온도 관리로 진화된 공정 능력을 갖게 됩니다. 제품의 유지비용은 고객에게 더 나은 만족감을 드릴 것입니다. Process 동안만 작동하는 Pump는 N2 Consumption을 대폭적으로 줄이며, 지속적으로 발생하고 있는 고정 수리비가 큰 폭 감소할 것입니다. 잦은 고장인 구동부 안정성은 기존의 가장 안정적인 형태로 설계 되었습니다. 이 형태는 주요 고장 원인인 Power Trouble에서의 안정성을 확인 하실 수 있습니다. 관리 중인 Valve의 Angle로 쉬운 사전 점검 및 PM을 통해 효율적인 설비관리가 가능합니다. 제품의 설치는 Pipe(In-let , Out-let , Sensor)의 연결 및 Electrical Connector만 연결하면 설치가 됩니다. Reverse Model이 별도로 필요하지 않습니다. 또한 Drain port 및 valve의 설치가 필요하지 않아 비용또한 절감됩니다. Gas Flow

3 Product Specifications
Descriptions Specifications Sensor Range (Absolute pressure sensor) 800 to 1100 hPa Pressure Control Range 900 to 1010 hPa Control Flow Range 0 to 50 SLM (MFC inlet) Pressure Sensor Accuracy ± 0.75 hPa Control Accuracy ± 1 hPa Control Stability Dry Process: Set-point <± 1.0 hPa (Typical) Wet Process: Set-point <± 2.0 hPa (Typical) Responsibility Within 60 sec (Fully Close to <±1 hPa )/ Dry condition Operating Gas Temperature Room temp to <130 ℃ Ambient Temperature 5~45 ℃ Proof Pressure 50 [kPaG] (Chamber Flow Gas) Gas Wetted Materials PTFE , Viton Seal External Leak None Pressure Control Signal 0 to 5000 mV (800 to 1100 hPa) Pressure Output Signal Pump Sensor Output Signal Valve Angle Output Signal 0 to mV (0% to 100 %) Gas Temp Output Signal 0 to 5000 mV (0℃ to 250 ℃) Power Source +24 VDC ± 2% max 0.5 A (Stand-by & Stable Control) max 0.55 A (Ramp Up-Down) Power Consumption max 12 W (Stand-by & Stable Control) max 13.2 W (Ramp Up-Down) Connector D-sub 9 pin Male type Tube Connections Inlet : NPT1 Female connection Outlet : NPT1 Male connection Vacuum Pump N2 Port : 1/4” Swagelok® Sensor Port : 1/4” Swagelok® Mounting Position Vertical Valve Control Method Stepping Motor Valve Type PTFE Bellows Weight 5.5 kg Vacuum Pump N2 Supply Pressure : 400 [kPaG] Flow : 0 –50 SLM

4 Electrical Connections
Pin No Description 1 Valve Open / Close 6 Control Set-Point (0~5 VDC) 2 Control Out-Put 7 Common 3 + 24 VDC 8 Motor Alarm Out-put (0 or 10 VDC) 4 Pump Sensor Out-put 9 Valve Angle Out-Put (0~10 VDC) 5 Gas Temp Out-Put Fully Open : Contact pin number 1,7 Fully Close : Contact pin number 1,3 External Dimensions

5 Provide Pressure control Technology
PPT Provide Pressure control Technology 184 Gaejeong-ri, Miyang-myeon, Anseong-si, Gyeonggi-do, Korea