VAT 개조 국산화.

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1 VAT 개조 국산화

2 SUNRIN Slit Valve 구 성 품 Vulcanized seal Oil-less busing
Dual seal Cylinder Air Control Needle Valve Piston

3 VAT社 Slit Gate Valve ※ VAT Slit Valve 문제점 ■ Valve Life Time 짧음
→고온에서 Bellows Shaft 구간 Body Shaft Guide 휨 현상 발생으로 구동불량 유발. → Cylinder 부 Piston O-ring Seal(1ea) 적용으로 잦은 반복 운동시 Air Leak 발생. ( Body 변형 시 Repair 불가 → High Cost 수리비용 발생) ■ Metal to Metal Touch로 인한 Particle 유발 → Metal 소재의 Back Side Vacuum Guide (SUS) 사용으로 역압 발생시 Metal to Metal Touch 발생.

4 Sunrin社 Slit Gate valve
SUS Ball Bush 적용 O-ring Seal(2ea) SR_SLIT VALVE NMS-01 ※ 타사 대비 Sunrin Slit Valve 특징 ■ Valve Life Time 증가 →고온에서 Bellows Shaft 구간 Body Shaft Guide 휨 방지를 위해 SUS Ball Bush 사용 → Cylinder 부 Piston O-ring Seal(2ea) 적용으로 잦은 반복 운동시 Air Leak 발생 방지 ( Body 변형 시 Repair 가능 → 수리비용 절감 발생) ■ Metal to Metal Touch로 인한 Particle 유발 방지 → Metal to Metal Touch (역압) 발생 시 Particle 발생 방지용 부품 개선 ⓐ Vulcanized seal Guide 사용 ⓑ 수지(Peek) 계열 Guide 사용

5 ■ Technical data 선린 社 (1-Step type) 타 社 (1-Step type ) Pressure range
1*10-10mbar to 1bar Differential pressure on the gate 1 ATM Leak rate < 1 x 10-9 mbar l s-1 Open / close Time ■ Open & Full Seal : 1.5 ~ 2 / sec ■ Close & Full Seal : 1.5 ~ 2 / sec Mounting Position Any ( Valve seat on chamber side is recommended ) Compressed air pressure Air ( 0.5 ~ 0.7ＭＰa ) Cycles until first service 1,000,000 O-ring rolling 방지 Vulcanized seal 사용 역 압 방지 Back Side Vacuum Guide 사용 Metal touch 방지 Back Side Vacuum Guide 안쪽 (Vulcanized seal / Peek) 사용 없음 이물질 방지 Bellows 사용 특징 ■ Bellows Shaft 구간 Body Shaft Guide 에 고온에 강한 Ball Bush 사용. ■ Metal touch 방지를 위해 Back Side Vacuum Guide 안쪽 Vulcanized seal / Peek 사용 ■ Cylinder 부 Piston O-ring Seal(2ea) 적용 잦은 반복 운동시 Air Leak 발생방지. -

6 Gate Valve (Roll Cam Model)비교 자료
V-tex vs Sunrin Gate Valve (Roll Cam Model)비교 자료

7 L-Motion Slit Valve 구 성 품 Micro Switch or Photo sensor NONE Bellows
(O-ring 방식 Feedthrough) One Cylinder Air Control Needle Valve Micro Switch or Photo sensor Roll Type UP/Down Moving Roll Guide Piston

8 V-TEX 社 L-Motion Slit Valve
기존 V-Tex Slit Valve 문제점 Roll cam마모 Bearing 마모 Back Side Vacuum 발생 ■ Valve Life time 짧음 → Roll Cam Block 과 Shaft Bearing Design 공차로 인한 마모 진행으로 L-Motion 동작 문제 발생. → 부품 Life Time 짧아짐. 풀림 ■ Valve Close시 Back Side Vacuum 발생 → Body 와 Cylinder 연결 부위가 두 부분으로 나뉘어져 Valve 동작 시 Bolt 풀림 현상 발생으로 Back Side Vacuum Leak 발생. → Roll cam 부분 Cam 마모로 Back Side Vacuum 발생

9 Sunrin 社L-Motion Slit Valve
Sun-rin社 Slit Valve 장점 L-motion 진행 시, Gate Plate pushing능력이 강해짐 Sunrin Cylinder 사용 : ■ 내부Shaft busing guide 장착으로 기존 제품대비 유격을 감소시켜 좌,우 밸런스 틀어짐 현상이 사라지고 Cam 수명이 길어져 Life time 길어짐 ■ Cylinder 를 기존 제품 대비 대형 Cylinder 및 Piston을 장착하여 L-motion의Pushing 능력을 향상 시킴 (Internal Leak 발생 방지) V-tex slit valve Sunrin slit valve ■ V-TEX 제품들은 두 부분으로 되있어서 장기사용 및 진동에 풀릴 수 있음 ->구동 불량 유발, Full Close 불량 발생 ■ Sunrin일체형 type slit valve 는 side block 부분을 일체형 으로 제작하여 구동불량 및 Full close불량 발생 방지 ■ 조립시 모든 볼트에 풀림 방지 액 사용 Gate Plate Shaft Roll Cam 안정적인 L-motion 구동 Shaft ■ Sunrin Roll Cam type slit valve 는 Shaft 에 protection Dust seal 채택으로 내.외부 이물질 투입방지

10 ■ Technical data 선린 社 (2-Step type) 타 社 (2-Step type ) Pressure range
1*10-10mbar to 1bar Differential pressure on the gate 1 ATM Leak rate < 1 x 10-8 mbar l s-1 Open / close Time ■ Open & Full Seal : 1.5 ~ 2 / sec ■ Close & Full Seal : 1.5 ~ 2 / sec Mounting Position Any ( Valve seat on chamber side is recommended ) Compressed air pressure Air ( 0.5 ~ 0.7ＭＰa ) Cycles until first service 1,000,000 o-ring rolling 방지 Vulcanized seal 사용 역 압 방지 Shaft Busing 고정 Guide 개선 방식 채용 없음 Metal Touch 방지 Vulcanized seal 사용 : 현상 방지 이물질 방지 Protection Dust Seal 사용 특징 ■ 기존의 불안정한 L-motion을 유발 시키는 Roll cam 방식에서 Shaft Busing 고정 Guide 방식 개선 적용 으로 Back side Leak 방지 ■ 대형 Cylinder 및 Piston을 적용 L-motion Pushing 능력을 향상 . (Internal Leak 발생 방지) ■ Shaft 에 Protection Dust seal 채택으로 Bellows 내.외부 이물질 투입방지. -