산화물 TFT 공정 개발용 TFT 소자 기술 ETRI Technology Marketing Strategy IT R&D Global Leader [별첨 5] 산화물 TFT 공정 개발용 TFT 소자 기술 ETRI Technology Marketing Strategy 박상희 (shkp@etri.re.kr) 산화물TFT연구실 부품소재연구부문 ETRI OOO연구소(단, 본부)명

목 차 ---------------------------------------------- 1. 기술의 개요 목 차 ---------------------------------------------- 1. 기술의 개요 2. 기술이전 내용 및 범위 3. 경쟁기술과 비교 4. 기술의 사업성 - 활용분야 및 기대효과 5. 국내외 시장 동향 부품소재연구부문

1. 기술의 개요 산화물 TFT 기술 ○ '폭 1500mm 플렉서블 기판에 산화물 박막 트랜지스터 증착을 위한 스퍼터 장비 실용화 기술 개발'과 '고품위 Plastic AMOLED 원천 기술 개발'과 'LASA 디스플레이 기술' 사업의 결과물로서 얻어진 기술로서 디스플레이 양산 공정용 산화물 TFT에 대한 공정 개발에 사용될 수 있는 소자 기술임. ○ 산화물 TFT의 양산을 위해서는 다양한 공정과 장비가 개발되어야 하는데, 이러한 공정과 장비의 평가를 위해서는 기본적인 산화물 TFT의 제조 공정 기술을 구비하여야 함. 이러한 산화물 TFT에 대한 기본 기술을 제공함. 부품소재연구부문

1. 기술의 개요 산화물 TFT 기술 : 산화물 반도체의 특징 산화물 반도체의 경우에는 메탈의 s 전자들이 전하 수송에 기여하여 비정질 구조에서도 우수한 전기적 특성을 보임 부품소재연구부문

1. 기술의 개요 산화물 TFT 기술 : 소자구조 Bottom Gate / Bottom Contact 구조임 GI와 PL에 Al2O3를 적용하여 안정적인 소자 특성을 구현함 ETRI OOO연구소(단, 본부)명

2. 기술이전 내용 및 범위 기술이전 내용 및 범위 기술 개발 현황 산화물반도체를 이용한 산화물 TFT 기술 산화물 TFT 공정 기술, 산화물 TFT 특성 평가 기술 기술 개발 현황 기술성숙도(TRL : Technology Readiness Level) 단계 : ( 5 )단계 100x100mm2 기판상에서 균일성이 뛰어난 TFT 소자를 제공함 TFT 소자 특성을 평가할 수 있도록 이동도, Von 전압, 누설전류등을 추출할 수 있는 방법을 제공함 부품소재연구부문

3. 경쟁기술과 비교 다른 TFT와의 특성 비교 부품소재연구부문

1-Chip Source IC Oxide TFT-LCD (SEC) 4. 기술의 사업성 산화물 TFT의 응용 분야 70”TFT-LCD 240Hz UD 3D(SEC) 19”AMOLED (SMD) 1-Chip Source IC Oxide TFT-LCD (SEC) Flexible AMOLED (SMD) 55”AMOLED TV (LGD) 부품소재연구부문

산화물 TFT의 응용 분야 : 투명디스플레이 분야 4. 기술의 사업성 산화물 TFT의 응용 분야 : 투명디스플레이 분야 부품소재연구부문

5. 국내외 시장 동향 시장 전망 : 디스플레이 백플레인 분야 현재 산화물 TFT를 디스플레이 백플레인에 사용하고 있는 분야는 TFT-LCD와 AMOLED임 TFT-LCD의 경우는 일본의 Sharp사가 AMOLED는 우리나라의 LGD에서 양산을 하고 있으며, 삼성디스플레이를 비롯한 여러 회사들은 양산 직전의 기술을 보유하고 있는 것으로 평가됨 향후에는 Flexible display, e-paper display등에도 적용될 것으로 예상됨 NanoMarkets는 산화물 TFT 기반 디스플레이 백플레인 시장 규모가 2017년까지 21억 달러에 달할 것으로 예측함. 특히, LCD 부문에 판매되는 산화물 TFT의 매출 규모는 2017년까지 19억 달러에 달할 것으로 전망함.(2012) 부품소재연구부문

5. 국내외 시장 동향 시장 전망 : 투명디스플레이 응용분야 스마트 창, 투명 디스플레이, Signage, 자동차용 기능성 창 등은 2012년부터 시장이 형성되어 2015년 200억 달러 규모의 시장 형성이 예측됨. (근거; DisplaySearch, iSuppli 2005) 디스플레이 세계시장 점유율을 고려할 때, 스마트 창의 경우도 조기 투자시 세계시장 40%이상을 점유할 수 있을 것으로 예측됨. (현재, LCD 세계시장 점유율 40%이상임) 예상 제품 부품소재연구부문

감사합니다. ♣ 연락처 : 부품소재연구부문, 박상희 책·연 (042-860-6276, shkp@etri.re.kr) www.etri.re.kr ♣ 연락처 : 부품소재연구부문, 박상희 책·연 (042-860-6276, shkp@etri.re.kr) ETRI OOO연구소(단, 본부)명