Symposium Invitation / 등록 안내 Cleaning Technology Invitation Campus Map 세정기술협의회 회원 여러분 안녕하십니까. 2006년 6월 창립한 한국세정기술협의회(KSCUGM)가 올해로 19회째를 맞이 하게 되었습니다. 현재까지 100여분의 국내∙외 세정 기술전문가의 강연이 있었으며, 1400여분의 협회 회원들이 다녀가는 학회로 성장하였습니다. 최근 국내∙외의 반도체 및 디스플레이 경기가 전반적으로 어려움을 맞고 있습니다. 저희 세정기술협의회는 반도체 및 디스플레이 세정을 비롯한 전반적인 연구결과를 발표하고 토론을 통하여 산업 전반적인 어려움 극복의 첨병이 되고자 합니다. 많은 참여 부탁 드리며, 회원들의 관심 어린 성원과 적극적인 참여를 기대합니다. 2014년 4월 한국 세정기술협의 회장 Durasonic 이 희 명 공학대학 게스트 하우스 정문 주차장 서문 백남학술관 셔틀버스 정거장 경상/어문/언론정보 대학 본관 도서관 기숙사 생산기술연구원 동문 경기테크노파크 학연산클러스터 학생회관 소극장 The 19th Surface Cleaning Users Group Meeting Cleaning Technology Symposium 등록 안내 Before May 2 After May 2 Member / Student \ 50,000 \ 70,000 현금 / 카드 결제 가능 (부가세 포함) 사전 등록 후, 카드 결제 시 영수증 홈페이지 발급 / 현금 입금 시 차후 계산서 지급 (단, 사업자등록증 지참시) 현금/카드 영수증 중 택1 현장 결제 시 카드 및 현금결제 가능 (계산서 지급 방법은 사전 등록과 동일) ※ Account No. : 신한 140-009-128512 (한양대 마이크로바이오칩 센터) ※ 담당자 : 이유선 / e-mail: yusunaa@hanyang.ac.kr (Tel: 010-2408-3377 / Fax: 031-400-4729) ※ 홈페이지 : scgum.com Date l May 8, 2014 Time l 13:30 ~ 18:00 Place l Student Union, Small Theater Hanyang Univ., ERICA Campus Supported by

Symposium 오시는 길 / 등록 안내 Cleaning Technology 수도권 전철 이용 Campus Map The 19th Surface Cleaning Users Group Meeting 전철 4호선 한대앞역 한양대 무료 셔틀버스 공학대학 게스트 하우스 정문 주차장 서문 백남학술관 셔틀버스 정거장 경상/어문/언론정보 대학 본관 도서관 기숙사 생산기술연구원 동문 경기테크노파크 학연산클러스터 학생회관 소극장 Cleaning Technology 전철 1호선 금정역 전철 4호선 환승 한대앞역 Symposium 전철 2호선 사당역 전철 4호선 환승 한대앞역 승용차 이용 수인 산업도로 안산 방면(상록수역 또는 중앙동 방향) 안산 시외버스터미널(한양대 및 경기 테크노파크 이정표 참조) 서 울, 목 동 서부간선도로 서서울IC 서해안고속도로 매송IC 해안로(한양대 및 경기테크노파크 이정표 참조) 등록 안내 Before May 2 After May 2 Member / Student \ 50,000 \ 70,000 인 천 영동 고속도록 서안산IC 시청방면 한양대 방면 현금 / 카드 결제 가능 (부가세 포함) 사전 등록 후, 카드 결제 시 영수증 홈페이지 발급 / 현금 입금 시 차후 계산서 지급 (단, 사업자등록증 지참시) 현금/카드 영수증 중 택1 현장 결제 시 카드 및 현금결제 가능 (계산서 지급 방법은 사전 등록과 동일) ※ Account No. : 신한 140-009-128512 (한양대 마이크로바이오칩 센터) ※ 담당자 : 이유선 / e-mail: yusunaa@hanyang.ac.kr (Tel: 010-2408-3377 / Fax: 031-400-4729) ※ 홈페이지 : scgum.com 시내∙외 버스 이용 Date l May 8, 2014 Time l 13:30 ~ 18:00 Place l Student Union, Small Theater Hanyang Univ., ERICA Campus 영등포 지역 : 영등포역 시외버스 정류장 반월공단(안산행) 예술인 아파트 하차 한양대 셔틀버스 인천 지역 : 인천시외버스 터미널, 주안 시민회관 앞 안산행 예술인 아파트 하차 한양대 셔틀버스 수원 지역 : 수원역 시외버스 정류장 안산행 예술인 아파트 하차 한양대 앞에서 하차 안산 지역 : 안산역 21번 / 상록수역 10번 버스 이용 한양대 방면 한양대 셔틀버스 정류장 하차

Invitation Program Emerging Technology Cleaning and Surfaces Session 1. Emerging Technology Cleaning and Surfaces 1 (Chairman: Eungrim Hwang, SK Hynix ) 13:30 ~ 13:40 Huimyeong Lee (President of KSCUGM), Durasonic Opening Remarks 13:40 ~ 14:20 Jungwoo Oh, Yonsei University Alternative Non-Si Channel CMOS Technologies on Si platform for High Performance and Low Power 14:20 ~ 14:40 Seungjung Shin, Samsung Electronics Development of Chemical Wetting & Cu Oxidation Change by Pre-Cleaning 14:40 ~ 15:00 Laura Matz, Air Products Designing Wet Clean Formulations to Meet Advanced Integration Challenges 15:00 ~ 15:20 Hyuntae Kim, Hanyang University Analysis of a reaction mechanism of oxide layer removal using reactive gas 15:20 ~ 16:00 “Coffee Break” 세정기술협의회 회원 여러분 안녕하십니까. 2006년 6월 창립한 한국세정기술협의회(KSCUGM)가 올해로 19회째를 맞이 하게 되었습니다. 현재까지 100여분의 국내∙외 세정 기술전문가의 강연이 있었으며, 1400여분의 협회 회원들이 다녀가는 학회로 성장하였습니다. 최근 국내∙외의 반도체 및 디스플레이 경기가 전반적으로 어려움을 맞고 있습니다. 저희 세정기술협의회는 반도체 및 디스플레이 세정을 비롯한 전반적인 연구결과를 발표하고 토론을 통하여 산업 전반적인 어려움 극복의 첨병이 되고자 합니다. 많은 참여 부탁 드리며, 회원들의 관심 어린 성원과 적극적인 참여를 기대합니다. 2014년 4월 한국 세정기술협의 회장 Durasonic 이 희 명 Session 2. Emerging Technology Cleaning and Surfaces 2 (Chairman: Sangyoung Kim, Korea Polytechnics ) 16:00~ 16:30 Jaeheum Bae , Suwon University 전기전자산업에서 산업세정기술의 최근 동향 및 적용 사례 16:30 ~ 16:50 Hwalpyo Kim, SK Hynix Sub 20nm에서 Pattern Deformation에 대한 고찰 16:50 ~ 17:10 To be announced, Entegris To be announced 17:10~ 17:30 Hyeokseong Choo, Yonsei University Surface Preparation to Reduce CD Variation of Phase Shift Mask 17:30 ~ 17:50 Jingoo Park, Hanyang University Review on SEMATECH Surface Preparation and Cleaning Conference 2014 (Aprill 22-24, 2014, Ausitin, Texas) 17:50 ~ 18:00 Closing Remarks 18:00 ~ 20:00 “Banquet” Hosted by Supported by