Provide Pressure control Technology PPT Provide Pressure control Technology HSCV Series High Stability Pressure Controllers HSCV-T110 Absolute Pressure Control

Product Benefits Process Repeatability & High Stability Reduced CoO Sensor Feed Back System Stepping Control Algorithm Exhaust Temp Monitor Reduced CoO N2 Shut-down Valve Not Use N2 Control Valve Easy Valve Cleaning Decrease Failure Strong point for Powder Enable Preventive Cleaning Easy Installation All In One Product Enable Standard & Reverse Stepping Motor의 정교한 제어로 ±0.3 hPa의 안정성을 갖습니다. Angle관리로 각 Process간의 재현성 관리 및 추가된 배기온도 관리로 진화된 공정 능력을 갖게 됩니다. 제품의 유지비용은 고객에게 더 나은 만족감을 드릴 것입니다. Process 동안만 작동하는 Pump는 N2 Consumption을 대폭적으로 줄이며, 지속적으로 발생하고 있는 고정 수리비가 큰 폭 감소할 것입니다. 잦은 고장인 구동부 안정성은 기존의 가장 안정적인 형태로 설계 되었습니다. 이 형태는 주요 고장 원인인 Power Trouble에서의 안정성을 확인 하실 수 있습니다. 관리 중인 Valve의 Angle로 쉬운 사전 점검 및 PM을 통해 효율적인 설비관리가 가능합니다. 제품의 설치는 Pipe(In-let , Out-let , Sensor)의 연결 및 Electrical Connector만 연결하면 설치가 됩니다. Reverse Model이 별도로 필요하지 않습니다. 또한 Drain port 및 valve의 설치가 필요하지 않아 비용또한 절감됩니다. Gas Flow

Product Specifications Descriptions Specifications Sensor Range (Absolute pressure sensor) 800 to 1100 hPa Pressure Control Range 900 to 1010 hPa Control Flow Range 0 to 50 SLM (MFC inlet) Pressure Sensor Accuracy ± 0.75 hPa Control Accuracy ± 1 hPa Control Stability Dry Process: Set-point <± 1.0 hPa (Typical) Wet Process: Set-point <± 2.0 hPa (Typical) Responsibility Within 60 sec (Fully Close to <±1 hPa )/ Dry condition Operating Gas Temperature Room temp to <130 ℃ Ambient Temperature 5~45 ℃ Proof Pressure 50 [kPaG] (Chamber Flow Gas) Gas Wetted Materials PTFE , Viton Seal External Leak None Pressure Control Signal 0 to 5000 mV (800 to 1100 hPa) Pressure Output Signal Pump Sensor Output Signal Valve Angle Output Signal 0 to 10000 mV (0% to 100 %) Gas Temp Output Signal 0 to 5000 mV (0℃ to 250 ℃) Power Source +24 VDC ± 2% max 0.5 A (Stand-by & Stable Control) max 0.55 A (Ramp Up-Down) Power Consumption max 12 W (Stand-by & Stable Control) max 13.2 W (Ramp Up-Down) Connector D-sub 9 pin Male type Tube Connections Inlet : NPT1 Female connection Outlet : NPT1 Male connection Vacuum Pump N2 Port : 1/4” Swagelok® Sensor Port : 1/4” Swagelok® Mounting Position Vertical Valve Control Method Stepping Motor Valve Type PTFE Bellows Weight 5.5 kg Vacuum Pump N2 Supply Pressure : 400 [kPaG] Flow : 0 –50 SLM

Electrical Connections Pin No Description 1 Valve Open / Close 6 Control Set-Point (0~5 VDC) 2 Control Out-Put 7 Common 3 + 24 VDC 8 Motor Alarm Out-put (0 or 10 VDC) 4 Pump Sensor Out-put 9 Valve Angle Out-Put (0~10 VDC) 5 Gas Temp Out-Put Fully Open : Contact pin number 1,7 Fully Close : Contact pin number 1,3 External Dimensions

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