HANJOO INDUSTRY

PRESENTATION OUTLINE 한 주 산 업 소개 및 현황 IPA VAPOR DRYER 그외 국산화 제품 소개

한주산업 소개 및 현황

회 / 사 / 연 / 혁 한주산업 설립 경기도 지정 기술집약형 중소기업 국민은행 지정 유망 중소기업 한주산업 설립 경기도 지정 기술집약형 중소기업 국민은행 지정 유망 중소기업 경기도 으뜸일터상 수상 (경기도 지사) 통상산업부 지정 유망선진화 기술기업 N.T Mark 취득 (중소기업청) 경기도 지정 유망 중소기업 K.T Mark 취득 (과학기술처) 기술신용보증기금 지정 우량 기술기업 모범 중소기업상 수상 (국무총리상) 1990. 02. 1992. 10. 1993. 12. 1994. 02. 1994. 05. 1996. 09. 1997. 03. 1997. 04. 1997. 05. 1997. 05

회 / 사 / 조 / 직 / 도 대표이사 전무이사 관리이사 기술이사 연구소장 경영지원팀 제품기술팀 기술영업팀 IPA개발팀 기술영업이사 연구소장 경영지원팀 제품기술팀 기술영업팀 IPA개발팀 제조지원팀 제 조 팀 고객지원팀 기술연구소 품질보증팀

주 생 산 품 목 I.P.A. VAPOR DRYER CHEMICAL WET STATION PARTS CLEAN STATION WET GAS SCRUBBER LAMINAR FLOW STATION ANTI-VIBRATION TABLE LIQUID GAS SUPPLY SYSTEM CHEMICAL BOTTLE WASHER OTHER FACILIES FOR CLEAN MATERIALS

국산화 현황 1991 PART CLEAN STATION 1992 CHEMICAL WET STATION 1992 ANTI-VIBRATION TABLE 1993 I.P.A. VAPOR DRYER ( 6 INCH ) 1995 I.P.A. VAPOR DRYER ( 8 INCH ) 1997 I.P.A. VAPOR DRYER (12 INCH)

5개년 매출현황 500 Year 1995 1996 1997 1998 1999 2000 내수 31 45 64 120 150 225 수출 - - 36 80 150 275 300 200 100 (단위 : 억원) 45 31 1995 1996 1997 1998 1999 2000

MARKETING 2000 1997 삼성 35% LG 13% 현대 14% 기타 2% 수출 36% 삼성 15% LG 11% 현대 8% 수출 55% 2000

연구개발실적 50 45 40 매출기여율 (단위 : 억원) 35 28 40 21 25 18 투 자 금 액 (단위 : 억원) 12 9.6 4.2 1995 1996 1997 1998 1999 2000

교육/복리 후생제도 노사협의회 신바람 위원회 운영 신우회 운영 동우회 지원 어학교육 지원 외부 위탁교육 실시 전임직원 재해보험 가입 주택자금지원 사내/외 기숙사 운영 동우회 지원 어학교육 지원 외부 위탁교육 실시 노사협의회 신우회 운영 신바람 위원회 운영

VISION 21C HANJOO 정보통신 L.C.D 반도체

IPA DRY SYSTEM

I.P.A Vapor Dryer

IPA Vapor Dryer R&D History 1992 08 IPA Vapor Dryer 국산화 개발팀 결성 09 일본 Kimmon, DNS 장비검토 11 국내 IPA 장기 기술현황 조사 1993 10 IPA Vapor Dryer 특허출원 (5건) 12 삼성전자 국산화 개발자금 지원 체결 1994 05 6인치 IPA Vapor Dryer 1차 개발 완료 06 8인치 IPA Vapor Dryer 개발 착수 1995 05 8인치 IPA Vapor Dryer 개발 완료 07 삼성전자 6인치 IPA Vapor Dryer 1호기 납품 1996 06 삼성전자 6인치 IPA Vapor Dryer 2호기 납품 06 8인치 IPA Vapor Dryer 1호기 납품 08 8인치 IPA Vapor Dryer Field Test 완료 11 삼성전자 6인치 IPA Vapor Dryer 3호기 납품 1997 01 8인치 IPA Vapor Dryer 개조작업 03 12인치 IPA Vapor Dryer 개발 착수 06 8인치 IPA Vapor Dryer 2호기 납품 08 신개념 IPA Vapor Dryer 개발 착수

IPA Vapor Dryer 원리 TC #2 (Damper Temp) TC #3 (Vapor Temp) Wafer Filter IPA Supply (CCS OR Supply Box) Heater TC #1 (Heater Temp) TC #4 (IPA Temp) 회수Tank 비상Tank Cooling Water In-Let TC #5 (회수 Tank Temp) TC #6 (비상 Tank Temp) IPA Drain

IPA Vapor Dryer 구성도

Utility 사양 Dimension Power : 208VAC 3Φ Main Body : 700(W)*1,250(D)* 1,780(H) /User 사양에 준함 Control Box : 440(W)*850(D)*1,110(H) Power : 208VAC 3Φ Purge N2 : 3 Kg/㎠, 1/4 inch/SWG/SUS Air : 3Kg/㎠, 1/4 inch/SWG/SUS

Utility 사양 N2 (CCS 공급시 불필요) Cooling Water IPA Supply N2 : 3-4 Kg/㎠, 1/4 inch/SWG/TSUS Cooling Water Temp : 18 - 23 ℃ Tank Cooling & SUS Chamber Cooling(In/out-let) : 1/2 inch/SWG/SUS/3 Kg/Cm2/Max 10 LPM Cooling Coil (Quartz) : 1/2 inch/SWG/SUS/3 Kg/Cm2/Max 10 LPM

Utility 사양 Exhaust : ψ 100 Body Exhaust : ψ 100 IPA Inlet : 1/4inch/SWG/SUS IPA Outlet 회수 Tank: 1/2inch/SWG/SUS

Performance Data Throughput : 250 WPH (Wafer Per Hours) Installation : By user Requirements (10 Day/Min) Safety : 22 points completed safety interlock Hatsuta 소화기 기본 장착 ① UV Sensor ② TH Sensor ③ Auto Damper M.T.B.F : Over 1,500 HRS (Mean time between failure) M.T.T.R : 2 HRS (Mean time to repair)

Performance Data Guarantee Particle : 0.16 um / Free ( 8" Wafer) Water Mark : Free Application Process ① P-CH Vt ② P-CH Field ③ P+ ④ N+ ⑤ P-Well ⑥ All Poly d ⑦ FIN ⑧ CAP ⑨ C/T ⑩ Pre Diffusion CLN ⑪ Pre Oxidation CLN ⑫ Gate Oxidation

Performance Data Cycle Time : 약 300 sec / 1 Cycle. Spin Dryer교체시 : M/C Up-time 50 % 상승 및 No Broken Utility Requirement : Plant Utility로 만족 Temp Range : 150-250℃ ±1 % Touch Panel 채용 : Easy Operation & Maintenance

양 산 업 무 FLOW SPEC Meeting Water Vapor Test Drawing Lay Out Drawing (설계도) IPA Vapor Test 사양서 검수 Sheet 사양작성 USER 검수 사양확정 납 품 Hard Ware Set-up 수 주 Fine Align 상세설계도 Safety Interlock Check Sheet 상세설계 Function Test Part 구매의뢰 Full Auto Test 제작의뢰 (제작도) Process Test PLC, Touch Panel Programming 제 작 Part 입고 Interlock check sheet Function Test END

인 / 원 / 구 / 성 / 도 제 조 3 팀 IPA 제조기술 제작 1 Part 제작 2 Part 제작 3 Part 품질보증 제 조 3 팀 IPA 제조기술 제작 1 Part 제작 2 Part 제작 3 Part 품질보증 Hardware 조립 - Main body - Quartz chamber - Sus chamber 구동부 조립 - Lifter - Heat block - 가공품 조립 Software 조립 - Touch panel - Programming - Controller 신뢰성 Test - System integration - Function test - 성능 신뢰성 Test 6 / 9 (명) 4 / 6 (명) 4 / 6 (명) 2 / 3 (명)

설 / 비 / 보 / 유 / 현 / 황 제 조 설 비 연 구 설 비 검 사 설 비 - Clean room Class1000 - Ultrasonic Cleaner - CAD System 586-200M Hz - Milling machine 2호,3호 - 성형 연마기 - Bending machine 2자 - Ar Welding machine 300W - 고주파 발생기 3HP - 선반 435x1000 - M.D.S YBH-40A - Shearing machine 3자 - Corner shearing machine 300x500 - Particle counter CI-500 - Particle analyzer CI-1000 - 3차원 측정기 MHB-400A - Oscilloscope 150M Hz - Network analyzer HP8722D - Spectrum analyzer HP8564E - Digital signal gen TEKTRONIX - Power meter HPE4418A - Power sensor HP8485D - Signal generator 8648A - RF Accessories HP8494B - TEM Cell TC-5010 - CAD Tool PADS-Power - Fiber Tool HP IV/PC - RF Shield room1.8Wx1.8Lx2.0H - Signal generator HP83640B - Frequency counter HP5352B - Digital oscilloscope - HP54615B - DC Power supply HPE3631A - Noise figure meter - LCR Meter - Peck power analyzer - D.V.M. DM-334 - Surface temp probe - Velocity meter 8355-MGB - Analog tester HC-260TR - Digital clamp meter DCH-6 - Noise Level Meter - Precision Liquid Flow Meter

향후 R&D 계획 장비개발 3대 요소 만족 Modification Capability Leading Edge Technology Next Generation Capability

투자계획 (형태별) Version up 33% 차세대 장비 개발 67%

투자계획 (항목별) 연구개발 39% 제조설비 26% 연구설비 19% 검사설비 11% 교육훈련 5%

국산화 제품 소개

CHEMICAL WET STATION

ANTI-VIBRATION TABLE

PARTS CLEAN STATION

THANK YOU