HOT PLATE Operation Manual 반도체 및 센서 연구 실. Hot Plate 위치 및 외향 청정실에 있는 Hot Plate 를 기준으로 함. DIGITAL HOT PLATE / STIRRER ( 사진 왼쪽 ) DIGITAL HOT PLATE ( 사진 오른쪽.

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1 HOT PLATE Operation Manual 반도체 및 센서 연구 실

2 Hot Plate 위치 및 외향 청정실에 있는 Hot Plate 를 기준으로 함. DIGITAL HOT PLATE / STIRRER ( 사진 왼쪽 ) DIGITAL HOT PLATE ( 사진 오른쪽 )

3 모델명 제조사 : PMC 제품명 : PMC Digital Hot Plate Model Number : 720 series (720A-1, 722A-1)

4 제품 사양 철판 재질 : 알루미늄 다이캐스트 온도 범위 ( ℃ ) : 38 ~ 350 온도 정밀도 ( ℃ ) : ± 1 (300 ℃ 이하 ) PROVE 온도 정밀도 ( ℃ ) : ± 2 STIRRER 범위 : 100~1200 STIRRER 정밀도 : ± 20 RPM 중량 (kg) : 12 전원 : AC 100V 50 / 60H 소비 전력 (W) ： 1100 표시 : 7 세그먼트 LED 온도 제어 방식：써미스터 식 플러그 형상：어스 부착３ 심 플러그

5 특징 천판이 알루미늄 다이캐스트제로 열전도율이 높고 온도 분포가 고름. 자동 보정 기능이 있는 써미스터 센서를 사용하고 있으므로， 온도 제어 정밀도가 높다． 외부 센서 ( 옵션 ) 를 사용하면 보다 정확한 온도 관리가 가능함． Product No.Description 720A - 1 외치수 (mm) 205 * 255 * 105 플레이트 (mm) 180 * 180 722A - 1 외치수 (mm) 205 * 255 * 105 플레이트 (mm) 180 * 180

6 기능 설명 : 전원 : SETTING / ENTER : 상태 표시 LED

7 : STIRRER 의 RPM 설정 : TIMER ( 시 : 분 ) 설정 : AUTO OFF ( 작동시간이 끝나면 자동으로 모든 수치를 0 으로 맞춤 ) : HEATER OFF (STIRRER 기능만 사용할 때 ) : STIRRER OFF (HEATER 기능만 사용할 때 ) : CLEAR : PLATE 온도 설정 : PROBE 온도 설정 ( 시료의 온도 가준 ) : TIMER ( 분 : 초 ) 설정 : RAMP / HR ( 예정시간 확인 후 알람 울림 )

8 사용 순서 ( 온도 설정 시 ) 전원 SET 1 번 (PLATE TEMP) 적정 온도 ENT ( TIMER ENT STIRRER ENT) 참고 : 반도체 공정 시에 주로 95 ℃ 사용하며, PLATE 의 온도가 보통 13 ℃ ~17 ℃ 이므로 15 ℃ 를 기준으로 하여 15 ℃ ~95 ℃ 소요되는 시간은 10 분 정도임.