［ 실리콘/화합물 반도체 소자공정 이론교육］

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1 ［ 실리콘/화합물 반도체 소자공정 이론교육］
▣이론 교육 세부일정 – 대명리조트 홍천 교육일정 교육 내용 비고 1.16 (수) 14:00~14:30 교육생 등록 및 결제 - 14:30~16:30 나노 전자/광 소자 개론 서울시립대/박경완 교수, KIST/한일기 박사 16:30~17:00 휴 식 17:00~19:00 Lithography 기술 하이닉스/이성구 책임 19:00~ 저 녁 식 사 1.17 (목) 08:00~09:00 아 침 식 사 09:00~10:30 Thin Film 공정 서울시립대/박경완 교수 10:30~11:00 11:00~13:00 Etching 공정 APTC/김남헌 박사 13:00~14:00 점 심 식 사 14:00~16:00 Doping 공정 KAIST/조병진 교수 16:00~16:30 16:30~18:00 Graphene technology for future electronics 18:00~19:00 Solar cell technology; 현황 및 미래 1.18 (금) 아 침 식 사 09:00~12:00 화합물 반도체 광 소자 기술 및 응용기술 ETRI/박경현 박사 12:00~13:00 13:00~16:00 실리콘 소자 Characterization Scaling limitation factors ETRI/장문규 박사 16:00~ 수료증 전달식 나노기술연구협의회 . 상기의 일정은 사정에 따라 변경될 수 있습니다

2 ［Nano Process Technology 실습교육 ]
▣ 실습 세부일정 - 한국나노기술원(수원) 교육일정 교육 내용 1.29(화) 13:00 ~ 14:00 입소 및 일정 소개 14:00 ~ 15:00 Fab 안전 및 청정도 교육 15:00 ~ 18:00 나노에피성장기술 특론 1.30(수) 09:00 ~ 10:00 나노에피성장 실습 개론 10:00 ~ 12:00  나노에피성장장비 및 공정 실습 1 12:00 ~ 13:00 중 식 13:00 ~ 15:00 나노에피성장장비 및 공정 실습 2 15:00 ~ 16:00 나노패터닝 실습 개론 16:00 ~ 18:00 나노패터닝장비 및 공정 실습 1 1.31(목) 09:00 ~ 11:00 나노패터닝장비 및 공정 실습 2 11:00 ~ 12:00 나노식각 실습 개론 13:00 ~ 17:00 나노식각장비 및 공정 실습 17:00 ~ 18:00 나노박막증착 및 후공정 실습개론 2. 1(금) 09:00 ~ 12:00 나노박막증착장비 및 공정 실습 1 나노박막증착장비 및 공정 실습 2 14:00 ~ 17:00 후공정장비 및 공정 실습 수료식 * 교육내용 - 나노소자 제작을 위한 중급 공정 이론 교육 및 실습 교육  - 에피성장기술, 패턴형성기술, 식각기술, 박막형성기술, 후공정기술 등 * 상기의 일정은 사정에 따라 변경될 수 있습니다. * 교육내용 - 나노소자 제작을 위한 나노공정 실습 교육  - 에피성장기술, 패턴형성기술, 식각기술, 박막형성기술, 후공정기술 등 * 상기의 일정은 사정에 따라 변경될 수 있습니다.

3 ［Lithography for Nanotechnology 실습교육］
▣ 실습 세부일정 - 나노종합팹센터(대전) 교육일정 교육 내용 1.29(화) 12:00 ~ 13:00 입소 및 일정 소개 13:00 ~ 14:00 Fab 안전 및 청정도 교육 14:00 ~ 15:00 Optical Lithography 실습 개론 15:00 ~ 16:00 E-Beam Lithography 실습 개론 16:00 ~ 17:00 Imprint Lithography 실습 개론 17:00 ~ 18:00 Etching Technology 실습 개론 1.30(수) 09:00 ~ 12:00 Optical Lithography(KrF Scanner) 1 중식 13:00 ~ 18:00 Optical Lithography(KrF Scanner) 2 1.31(목) E-Beam Lithography 1 E-Beam Lithography 2 2.1(금) Imprint Lithography 13:00 ~ 17:00 Etching 수료식 * 상기의 일정은 센터 사정에 따라 변경될 수 있습니다.

4 ［Basic Nanofabrication Processes 실습교육 ］
▣ 실습 세부일정 - 나노종합팹센터(대전) 교육일정 교육 내용 2.18 (월) 13:00 ~ 14:00 입소 및 일정 소개 14:00 ~ 15:00 Fab 안전 및 청정도 교육 15:00 ~ 18:00 Basic Nanofabrication Processes 실습 개론 2.19 (화) 09:00 ~ 12:00 단위공정 실습 개론 12:00 ~ 13:00 중식 14:00 ~ 18:00 Diffusion & Doping Process 실습 2.20 (수) Lithography Process 실습 13:00 ~ 16:00 16:00 ~ 18:00 Etch Process 실습 2.21 (목) 13:00 ~ 18:00 Metal & CVD Process 실 2.22 (금) 09:00 ~ 11:00 Device Characteristics 실습 11:00 ~ 12:00 토론 및 수료 * 상기의 일정은 사정에 따라 변경될 수 있습니다.