FILTER & DIFFUSER.

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1 FILTER & DIFFUSER

2 1 Membrane 개요 2 Filter & Diffuser 3 제조공정도 4 ASFLOW 기술력 5 ASFLOW 제품군
목차 1 Membrane 개요 2 Filter & Diffuser 3 제조공정도 4 ASFLOW 기술력 5 ASFLOW 제품군 6 평가 SYSTEM 7 응용분야

3 액체 또는 기체 환경의 혼합물질에서 원하는 입자에 대해서만 선택적 투과 및 분리를 하는 제품
1 Membrane 개요 Membrane ? 액체 또는 기체 환경의 혼합물질에서 원하는 입자에 대해서만 선택적 투과 및 분리를 하는 제품 소재에 따라 고분자, 세라믹, 금속으로 나눌 수가 있으며, 각 산업의 특성에 맞추어 재료가 선택되어짐 ASFLOW – Metal Membrane Metal Ceramic PTFE

4 Membrane을 사용한 Filter, Diffuser 필요
Metal Membrane 의 필요성 종래의 30nm 보다 작은 10nm 이상의 미립자인 particle에 의한 pattern 결함 등 다양한 불량 요인의 등장. 그로 인하여 제조 공정에 사용하는 초고순도 Gas, Chemical 및 극 청정성을 갖는 고 내식성 정밀 입자 제어용 필터와 디퓨저가 필연적으로 대두됨. 40여종의 특수가스 내부식성이 우수한 소재 고온/고압의 공정 미세 파티클 제어 필요 Stainless/ Nickel Membrane을 사용한 Filter, Diffuser 필요 = 전량 수입에 의존

5 1 Membrane 개요 Metal Membrane 주요제작업체 ▶국내 반도체용 금속 membrane 자체 제작 업체 전무
Metal Membrane 주요제작업체 Metal Powder Metal Mesh PTFE,PE Metal Powder Metal Fiber Metal Mesh Polymer Metal Powder Metal Fiber Metal Mesh Metal Powder Metal Powder Teflon ▶국내 반도체용 금속 membrane 자체 제작 업체 전무 (수처리 및 2차 전지용 Polymer 계열의 연구 다수) ▶국내 반도체용 금속 membrane 경우 대부분 membrane을 수입하여 Housing 체결 후 판매(ex. ㈜태린)

6 2 Filter & Diffuser 가스 필터는 가스가 투과할 수 있는 멤브레인과 하우징으로 구성 되어
가스 필터(gas filter) 란 가스 필터는 가스가 투과할 수 있는 멤브레인과 하우징으로 구성 되어 있으며 불순물을 제거하는 역할을 함 Metal Body 와 Membrane으로 구성되어 있으며, 다양한 형상 가스공급배관에 연결되어 장치로 공급되는 가스의 이물질을 제거

7 2 Filter & Diffuser 디퓨저는 가스가 투과할 수 있는 멤브레인으로 구성되며, 일반적으로
디퓨저(Diffuser) 란 디퓨저는 가스가 투과할 수 있는 멤브레인으로 구성되며, 일반적으로 유량을 제어하거나 가스의 균일한 확산이 필요할 때 사용됨 반도체나 LCD산업에서는 챔버내에 가스를 일정한 속도로 주입하거나 진공 해제시 가스의 흐름이 갑자기 생기지 않도록 제어하는 역할을 함

8 반도체/LCD 공정용 Filter&Diffuser
반도체/LCD 공정용 Filter&Diffuser LCD/반도체 산업에서의 역할 * 제조장비 가스라인에 장착되어 공급되는 가스의 정제 및 감압 * Vacuum Chamber내의 가스를 균일하게 확산시키는 역할 * 10nm 이하의 Particle을 제거하여 공정불량을 미연에 방지

9 2 Filter & Diffuser FILTER 구조 DIFFUSER 구조 Metal Body Metal Membrane
FILTER 구조 DIFFUSER 구조 Metal Body Metal Membrane Metal Housing과 Membrane으로 구성되어 있으며, IN-Line 형태임 Metal Body 와 Membrane으로 구성되어 있으며, 다양한 형태의 제품이 있음.

10 3 제조공정도 Selection Mixing Shaping Sintering Welding TEST
Selection Mixing Shaping Sintering Welding TEST (Particle, Flow) Cleaning (Auto Clean) Cleaning (EP&ultra sonic)

11 4 ASFLOW 기술력 정부출연과제 Project List
정부출연과제 중소기업청 산업자원부 Project List 2005~2006 : 분말야금공정을 이용한 반도체용 극청정 정밀입자제어 필터 개발 2006~2008 : 반도체 공정용 극청정 가스필터 제조기술 개발 2008~2010 : 불소섬유를 이용한 반도체 장비용 부식성 가스 여과 필터 제조기술 개발 2013~2015 : 반도체 공정용 1,000 L/min 급 디퓨저 멤브레인 제조기술 개발 2013~2019 : 수소제조용 표면적 3,000m2/m3 이상의 에너지 저감형 다공성 금속소재 개발 11

12 4 ASFLOW 기술력 Customizing 고객 중심의 제품 공급 제품설계 Membrane Process 제품화
Customizing 고객 중심의 제품 공급 제품설계 Membrane Process 제품화 Process 측정 및 검사 고객 정보 Membrane Process 제품화 Process 측정 및 검사 Powder selection Mixing Shaping Sintering Welding 1st Cleaning 2nd Cleaning Packing Vent-up Test Gas Flow Test Particle Test Chamber 용량 Vent Time Gas Pressure 12

13 Stainless 표면을 전해연마 하는 기술이며 표면거칠기와 내부식성이 우수함
4 ASFLOW 기술력 Neck 강화기술 40 um 40 um Neck 강화 이물질 제거 ASFLOW 특허기술 COP 기술 적용 C.O.P 기술 초기표면 상태 Stainless 표면을 전해연마 하는 기술이며 표면거칠기와 내부식성이 우수함 C.O.P 완료후의 표면상태 크롬산화막 우수한 내부식성 유량 증가 13

14 4 ASFLOW 기술력 기공률 제어 기공크기 제어 기공률 제어 기공크기 조절 가능 유량 조절 가능 www.asflow.com
기공률 제어 기공크기 조절 가능 유량 조절 가능 기공크기 제어 Grade 1 2 3 4 5 6 7 8 9 미 세 구 조 14

15 ASFLOW Filter& Diffuser 특성
ASFLOW Filter& Diffuser 특성 Material Diffuser Element Sintered 316L Stainless Steel Membrane Housing 316L Stainless Steel Surface finish interior ≤32μin Ra Connections Inlet VCR, LOK, Butt weld, etc. Outlet Maximum Operating Temperature 460℃(inert gas) Grade 2 Grade 3 Grade 4 Grade 5 Grade 8 15

16 5 ASFLOW 제품군 Specifications & Ordering conditions
Specifications & Ordering conditions Filter & Diffuser element Sintered Stainless 316L membrane filter Housing L stainless steel Surface Finish internal ≤32 µinch Ra Materials Membrane Type Size Tube / Disk / Cup 0 ~ 20,000 slpm Flow Tube Disk Cup Sheet : Φ10~30, length : 1~120mm : Φ10~80, thickness : 0.5~5mm : Φ10~20, length : 1~50mm : 60x60, thickness : 1~5mm Connections VCR, Lok, Weld 16

17 5 ASFLOW 제품군 제품 Catalog 17

18 5 ASFLOW 제품군 20,000 LPM Diffuser Specification www.asflow.com 제품명
437L DIFFUSER-M30(P1.5) 제품설명 Sputter 장비용 고성능 디퓨져 Specification Material Media Sintered 316L Stainless Steel Membrane Cover Punched 316L Stainless Tube Connector 316L Stainless (M30 x P1.5) O-ring Viton (V35) Operation Condition Filter Area 339.12㎠ Removal Rating ≥0.003㎛ Flow Rate 5500LPM at 5kgf/㎠ Max. Inlet Pressure 5kgf/㎠, 0~40℃ Max. Operating Temperature 460℃(Inert gas) 18

19 Video Microscope SYSTEM
Particle TEST SYSTEM Flow TEST SYSTEM Video Microscope SYSTEM 19

20 7 응용분야 주 요 분 야 응 용 분 야 Beverage Industry Sparger 정유/화학
주 요 분 야 Semiconductor process Display (LCD/PDP/FED etc.) process Gas chemical mixer Gas supply system Clean room system 응 용 분 야 Beverage Industry Sparger 정유/화학 20

21 Thank you 21

22 소재 특성 항목 Stainless 316L Nickel 소재의 내식성 우수
미세구조 특성 소재의 내식성 우수 Powder size가 Nickel에 비해 크기 때문에 미세기공형성 어려움 기공률이 낮음(30~40% 이내) 입자간 결합력이 높음 Nickel에 비해 강도가 높음. 소재의 내식성 우수 Powder size가 작아 작은 기공형성가능 기공률이 높음(40~50%이상) 높은 기공률로 인하여 소결입자간 결합력이 약함 Stainless에 비해 연성이 높아 고압에서 이용시 변형이 일어날 수 있음

23 Gas 적용 Guide Name of Gas Category Chemical Formula Membrane Nickel
PTFE/PFA Stainless (316L) Ammonia Hydrogen/Hydrides NH3 ● Argon Inerts Ar Arsine AsH3 Boron 11 Trifluoride Halogen/Hydrides B11F3 Boron Trichloride BCl3 Boron Trifluoride BF3 Bromine Br2 Carbon Dioxide Oxygen/Oxides CO2 Carbon Monoxide CO Carbon Tetrachloride Hydrocarbon/Halogenated Hydrocarbons CCl4 Chlorine Cl2 Chlorine Trifluoride ClF3 Diborane B2H6 ▲ Dichlorodifluoromethane CCl2F2 Dichloromethane CH2Cl2 Dichlorosilane SiH2Cl2 Difluoromethane CH2F2 Ethane C2H6 Fluorine F2 Germane GeH4 Halocarbon 115 C2ClF5 Halocarbon 116 Hexafluoroethane C2F6 Halocarbon 13 CClF3 Halocarbon 14 Tetrafluoromethane CF4 Halocarbon 218 Perfluoropropane C3F8 Halocarbon 23 Trifluoromethane CHF3 Halocarbon 318 Octafluorocyclobutane C4F8 Helium He Hexafluoro-2-butyne C4F6 Hexafluorobutadiene

24 Name of Gas Category Chemical Formula Membrane Nickel PTFE/PFA Stainless (316L) Hydrogen Hydrogen/Hydrides H2 ● Hydrogen Bromide Halogen/Hydrides HBr Hydrogen Chloride HCl Hydrogen Fluoride HF Hydrogen Selenice H2Se Hydrogen Sulfide H2S Krypton Inerts Kr Methane Hydrocarbon/Halogenated Hydrocarbons CH4 Methyl Fluoride CH3F Methylsilane SiH3(CH3) Neon Ne Nitric Oxide Oxygen/Oxides NO Nitrogen N2 Nitrogen Dioxide NO2 Nitrogen Trifuoride NF3 Nitrous Oxide N2O Octafluorocyclopentene C5F8 Oxygen O2 Ozone O3 Pentaborane B5H9 Phosphine PH3 ▲ Phosphorous Trifluoride PF3 Silane SiH4 Silicon Tetrachloride SiCl4 Silicon Tetrafluoride SiF4 Sulfur Dioxide SO2 Sulfur Hexafluoride SF6 Trichlorofluoromethane CCl3F Trichloromethane CHCl3 Trichlorosilane SiHCl3 Trichlorotrifluoroethane C2Cl3F3 Trimethylamine (CH3)3N Trimethylsilane SiH(CH3)3 Tungsten Hexafluoride WF6 Xenon Xe Reference : Entegris Gas Filter Compatibility Guide ● Compatible ▲ Compatible with limitation Not compatible