고진공 L형 밸브（리프레쉬） XLA Series

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1 고진공 L형 밸브（리프레쉬） XLA Series
31 고진공 L형 밸브（리프레쉬） XLA　Series 본제품은, 고진공L형 밸브XLA시리즈의 리프레쉬품입니다. 종래품과 크게 외관 이미지가 바뀐 것은 없습니다만, 메인터넌스의 향상을 목적으로 개발했습니다.

2 용도.１ １． 반도체 제조 장치 ・ 에칭 장치 ・ 앗싱 장치 ・ 스패터 장치 ・ CVD장치 ・ 이온 주입 장치
　　・ 에칭 장치 　　・ 앗싱 장치 　　・ 스패터 장치 　　・ CVD장치 　　・ 이온 주입 장치 XLA시리즈의 대부분은 반도체 제조 장치에서 사용되고 있습니다. 주로 반도체 제조 공정의 전 공정에서 사용되며 장치의 진공에 쳄버를 고진공으로 할 목적에서 사용됩니다.

3 용도.２ ２． 식품·의료기기관련 ・ 진공건조기 ・ 동결 진공건조기 ・ 진공 여과기 ・ 진공단열기 ・ 탈산소장치 ３． 자동차관련
　・ 진공건조기 　・ 동결 진공건조기 　・ 진공 여과기 　・ 진공단열기 　・ 탈산소장치 ３． 자동차관련 　・ 전자 빔 용접기 　・ 누설 시험기 반도체 제조 장치 이외에도 식품 장치·의료 기기와 자동차 관련 장치 등에도 사용되고 있습니다. 주의:XLA시리즈는 식품 기기 관련 있어도 푸드 존에서는 사용할 수 없습니다. 또 의료 기기 관련은 인체에 직접 관계되는 지역에서는 사용할 수 없습니다.

4 특징.１ 메인터넌스성의 향상을 위해 벨로즈 교환 타입을 표준화. 유저의 메인터넌스 진행시 낭비 삭감을 도모했습니다.
본닛서브Ass’y 벨로즈 Ass’y 너트Ass’y (너트) (와샤) 보닛Ass’y 메인터넌스는 주로 벨로즈 내구성(수명)에 따라 하지만 기존품은 보닛 Ass'y 전체 교환이 필요했습니다. 그래서 교환의 필요 없이 보닛 서브 Ass'y까지 교환하는 낭비가 생기고 있었습니다. 리프레쉬 제품에 있어서, 벨로즈 Ass'y만이 교환이 가능해 진 만큼 폐기물의 삭감으로 자원 절약화에도 연결됩니다.

5 특징.2 대형 80사이즈, 벨로즈의 형상 조정으로 수명 향상. [압력 변동 아래에서 200만번 이상] 밸브측 쳄버 벨로즈 측
　　　　 [압력 변동 아래에서 200만번 이상] 쳄버 권장 배기 방향 벨로즈 측 진공 펌프 밸브측 대형 80사이즈에 관해서는 200만번의 수명에 못 미친다는 지적도 있었습니다. 이번에 벨로즈의 형상의 재검토를 위해 그림의 권장 배기 방향으로 200만번 이상의 작동을 확보하도록 했습니다.

6 치수.１ 제품치수(A), (B), (C), (D), (E)이 변경 ※면간 치수 및 배관 지름(플랜지 사이즈)변경 없음 C A
신형품 종래품 16 107 103 43.5 40 20 28 29 25 121 113 44 39 27 37 171 158 67 63 35 50 185 170 72.2 68 45.5 41.5 60 61 212 196 75.5 69 55 53 77 81 80 257 235 104 90 65 61.5 94 95 플랜지 사이즈 (A) (B) (C) (D) 신형품 종래품 신형품 종래품 신형품 종래품 신/구 외형 치수의 비교가 됩니다. 치수ABCDE는 변경이 되는 부분 기재가 됩니다. 신제품은 종래품에 비해 외관치수가 약간 커지고 있습니다. 그러나, 면간 치수, 배관 지름에 변경이 없으므로, 기존 장치에 설치 호환이 있습니다. 신제품 보닛 Ass'y와 종래품 보닛 Ass'y에서 호환성이 없으므로 종래품 바디에 신제품 보닛 Ass'y를 설치할 수 없으니 주의 바랍니다.

7 외관.1 【신형품】 【종래품】 디자인 인쇄(표준) 레이저 인쇄 표준, 고온용 모두 공통 SMC마크 레이저 인쇄 제품 전체
외관.1　　　　　　　　　　　　 【신형품】 【종래품】 디자인 인쇄(표준) 레이저 인쇄 표준, 고온용 모두 공통 SMC마크 레이저 인쇄 보닛Ass’y상부의 마크가 변경이 되고, 「HIGH VACUUM VALVE」의 표시가 신제품에서는 없어집니다. 따라서 신제품은 상표만 표시가 되는 표준 사양, 고온 사양이 동일해집니다. 표준 사양, 고온 사양의 분별하는 방법은 명판에 기재된 품번이 전부입니다. 제품 전체 제품 전체 디자인 인쇄(고온용)

8 외관.2 【신형품】 【종래품】 히터 커버 컴퓨터 명판 히터 커버 컴퓨터 명판(표준) 표준, 고온용 모두 공통 도선 인출 방향
히터 커버의 디자인을 변경해 콤팩트하게 했습니다. 한편, 기본형은 히터의 도선 취득 방향을 종래의 위방향에서 아래방향으로 변경했습니다. 이유는 기존 제품이 L밸브 조작 포트(본네트에 PA포트)를 히터의 설치면과 같은 방향으로 한 경우 도선과 조작 포트의 배관이 간섭하는 불편이 생겼기 때문입니다. 도선 인출 방향 (기본 아래 방향) 도선 인출 방향 (기본 위 방향) 컴퓨터 명판(고온용)

9 사양.１ 【 XLA단동·벨로즈 Seal 】 플랜지 사이즈 16 25 40 50 63 80 밸브 형식
상시 닫힘[NC](가압 열림·스프링 Seal) 사용 유체 비활성 가스계의 진공 사용온도(℃) 5～60（고운타입의 경우：5～150） 사용압력 Pa(abs) 1×10-6～대기압 컨덕턴스L/s 주1) 5 14 45 160 200 누설량 Pa・m3/s 내부 표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-10 상온시・가스 투과를 제외 외부 표준 재질(FKM)의 경우 1.3×10-11 상온시·가스 투과를 제외 플랜지 종류 KF(NW) KF(NW)・K(DN) 주요 재질 본체:알루미늄 합금 벨로스:SUS316L 주요부:스테인리스, FKM(표준Seal재) 표면 처리 외부:경질 알루마이트 내부:무처리 파일럿압 MPa(G) 0.4～0.7 파일럿 포트 접속구경 M5 Rc1/8 질량 kg 0.28 0.47 1.1 1.7 3.1 5.1 전체 사이즈와 질량 이외, 사양의 변경은 없습니다. 40사이즈에 대해서는 질량도 변경 없습니다。 주 1)컨덕턴스는 동일한 치수 엘보의 "분자류“의 값으로 대표하고 있습니다.

10 사양.２ 신제품은 제품 질량 이외 사양의 변경은 없습니다. 질량은 각 사이즈 0.02~0.2kg 무거워집니다. 16 0.28
종래품 16 0.28 0.25 25 0.47 0.45 40 1.1 50 1.7 1.6 63 3.1 2.9 80 5.1 5 플랜지 사이즈 질량kg 종래품과 신제품의 질량의 비교입니다. 질량이 변경된 이유는 주로 제품의 전장이 늘어난 데 따른 것입니다. 질량의 차이는 신제품이 0.02~0.2kg 무거워집니다.

11 품번 체계 XLA – 80 D A H0 – 2 M9N A – X A N1 A 신제품 식별 기호 Seal 재질변경 Seal 재질
플랜지 사이즈 바디 표면처리 16 25 40 50 63 80 오토스위치 수/부착위치 무 ― A 2개 개.폐 B 1개 열림 C 닫힘 플랜지의 종류 무 KF（NW） D K（DN） 오토스위치 종류 무 ― M9N D-M9N M9P D-M9P M9B D-M9B A90 D-A90 A93 D-A93 M9// 자석 내장 인디케이터/ 조작포트 방향 종래품과의 식별 기호 2를 「오토 스위치의 종류선택」의 품번 앞에 표기합니다. 종래 있었던 Seal 재질:U1(재질:ULTIC ARMOR)의 선택이 이번 변경으로 할 수 없게 됩니다. 이유는 시장 요구가 거의 없기 때문입니다. 필요할 경우는 특별주문에서 대응이 됩니다. 　　 온도사양/히터유무 무 5～60℃ ― H0 5~150℃ H4 100℃용 H5 120℃용 신제품 식별 기호 무기호(표준)이외를 선택할 경우 기호의 선두에 반드시 X를 기입

12 선정시 주의점 １． 오토 스위치없음 (마그넷 내장 제외)을 선택했을 경우, 오토 스위치를 나중에 장착 할 수 없습니다.
　　고온 타입도 같습니다. ２． 온도사양:5∼60℃,또는 H0(5∼150℃) 히터없음을 선택했을 경우, 히터를 나중에 장착 할 수 없습니다.

13 구조단면 【 신제품 】 【 종래품 】 튜브 Ass'y 보닛 (튜브+엔드 플레이트) 피스톤 피스톤 Ass'y (피스톤+샤프트)
(샤프트) 벨로즈Ass”y (벨로즈+벨로즈 홀더+밸브+링+샤프트) 피스톤 Ass'y (피스톤+샤프트) 로드 커버 외부 Seal return spring 벨로즈Ass”y (벨로즈+벨로즈 홀더+밸브) 밸브 Seal 2 이번의 리프레쉬는 벨로즈Ass’y만 교환 할 수 있는 것을 목적으로 구조를 재검토했습니다. 사이즈16에서 63까지는 벨로즈 자체의 변경은 없습니다. 와셔 밸브 Seal 1 너트 (밸브) 【 신제품 】 바디

14 메인터넌스 ※벨로즈 Ass'y에는 표준 재질 (FKM)의 밸브 Seal1 이 장착됩니다. ※너트, 와셔 단품의 제공은
보닛Ass”y (보닛 서브Ass’y + 벨로즈Ass’y + 밸브 Seal1 + 밸브 Seal2 + 너트Ass’y) 와셔 밸브 Seal 2 벨로즈Ass'y (벨로즈+벨로즈 홀더+밸브) 밸브 Seal 1 ※벨로즈 Ass'y에는 표준 재질 (FKM)의 밸브 Seal1 이 장착됩니다. ※너트, 와셔 단품의 제공은 하지 않습니다. (보닛 서브 Ass'y) 메인터넌스 방법은 보닛Ass’y, 벨로즈Ass’y, 너트Ass’y, 밸브 Seal1, 밸브 Seal2에 5개의 교환이 가능합니다. 종래 제품과 비교해 유지보수성이 향상했습니다. 신제품에의 변경 시 유지보수성이 향상하고 있음을 보여 위, 수렴의 촉진 부탁하겠습니다. 보수 부품

15 경합 비교.１ 사양비교 SMC AB사 B사 XLA 26 시리즈 AVB7시리즈 불활성 가스 진공 - 5～150 ～150 10
-6 ～ 대기압 ～0.5(MPa) ～대기압 16 5 25 14 13 40 45 43 50 80 74 63 160 166 200 248 내부 1.3ｘ10 -10 외부 -11 16～50:KF 63～80:KF,K 63～80:K 16～80:KF 0.4～0.7 0.4～0.8 0.4～0.6 300 100 컨덕턴스에 대해서는 각사 실측정 값이 아니고 계산 값을 채용하고 있다. 메이커 형식 사용 유체 사용 온도(℃) 사용 압력(Pa)(abs) 플랜지 컨덕턴스(L/s) 누설량(Pa･m 3 /s) 파일럿 압(MPa) 내구 횟수(만번) CKD는 내구 횟수는 실력치 300만번을 기재한 자료를 준비하고 있는데 보증은 100만회까지입니다.

16 경합 비교.２ 경합과의 외관치수, 중량의 비교입니다. 각사, 많은 차이는 없습니다. 치수비교 전장A치수(mm) XLA
26시리즈 AVB7시리즈 107 105 114 121 110 127 171 153 168 185 166 186 212 211 214 257 199 235 면 간 B치수(mm) 40 50 65 70 88 90 질량(Kg) 0.28 0.4 0.47 0.41 0.5 1.1 0.97 1.2 1.7 1.45 2 3.1 2.9 3.5 5.1 6.5 80 16 25 63 사이즈 B A 경합과의 외관치수, 중량의 비교입니다. 각사, 많은 차이는 없습니다.

17 주의점 『 Seal 재질 변경 부분과 누설량 』 【 종래품 】 기호 누설량 Pa·m3/s이하 내부 외부 무 없음
변경한곳 ※1 누설량 Pa·m3/s이하 내부 외부 무 없음 1.3×10-10(FKM) 1.3×10-11(FKM) A ②, ③ 1.3×10-8 1.3×10-9 B ② C ③ ② 밸브 Seal 【 신제품 】 【종래품】 기호 변경한곳 ※2 누설량 Pa·m3/s이하 내부 외부 무 없음 1.3×10-10(FKM) 1.3×10-11(FKM) A ②, ③, ④ 1.3×10-8 1.3×10-9 B ②, ③ C ④ D ② E ②, ④ ④ 외부 Seal ※3 ※4 ※5 ※6 ※7 본 제품은 Seal 재료표준FKM에서 다른 재질로 변경 가능합니다. 재질을 변경하면 내부 누설량, 외부 누설량이 많습니다. 이번 변경으로 신형은 교환 가능한 Seal이 3곳으로 늘어나고 있습니다. 그래서 Seal 재질 변경 부분의 조합이 기존 3패턴에서 5패턴으로 늘고 있습니다. Seal 재질 변경 시 누설량의 확인 부탁 드립니다. ② 밸브 실Seal1 ③ 밸브 실Seal2 ※1: Seal 부분은[종래품]부품 No. 참조 ※2: Seal 부분은[신제품]부품 No. 참조 ※3:보수 부품이 되는 Seal재질 모두 교환 ※4:밸브에 부수되는 Seal 재질을 교환 ※5:보닛 Ass'y와 바디 사이의 Seal 재질을 교환 ※6:실제 교환 부분은 종래품 Seal 재질 변경 부분 B에 해당 ※7:실제 교환 부분은 종래품 Seal 재질 변경 부분 A에 해당 【신제품】

18 정리 메인터넌스 향상 메인터넌스시 폐기 부품 삭감
벨로즈만 교환이 가능하게 됩니다. 메인터넌스시 폐기 부품 삭감 　 벨로즈만 교환이 가능함에 따라 최소한의 부품 교환으로 끝나고, 낭비가 일어나지 않습니다. ・ 종래품의 수렴 촉진을 부탁합니다. ·벨로즈만 교환이 가능한 것은 SMC뿐입니다. 타사에서는 표준대응하고 있지 않습니다. ·벨로즈만 교환이 가능함에 따라 최소한의 부품교환으로 끝나고, 낭비가 생기지 않습니다. 자원 절약화에도 연결됩니다. ·종래품에서 신제품에 대한 수렴 촉진을 부탁합니다.