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21C社 3D 형상가공기 Stage 2D Compensation 보고 (R0)

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1 21C社 3D 형상가공기 Stage 2D Compensation 보고 (R0)
소속 팀 : 내재화사업본부 작성자 : 이용식 수석연구원 검토자 :

2 1. 측정 결과 [ 보정 前 ] JT Corp. Internalization Business Center Max. +25um
Min. -25um Max. +30um Min. -20um JT Corp Internalization Business Center

3 2. 보정 결과 [ 보정 後 ] JT Corp. Internalization Business Center Max. +1.8um
Min. -3.2um Max. +4.9um Min. -6.5um JT Corp Internalization Business Center

4 3. 보정 전후 비교 [ Stage X ] JT Corp Internalization Business Center

5 3. 보정 전후 비교 [ Stage Y ] JT Corp Internalization Business Center


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