Formatin of wrinkle in polymer film 2008년 10월 12일 신소재 전자재료과

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1 Formatin of wrinkle in polymer film 2008년 10월 12일 신소재 전자재료과
백현석

2 About parylene 1. Type of parylene 2. CVD (chemical vapor deposition) 3. Application of parylene 4. Result and discussion 5.

3 ▶ About parylene 고 절연 특성 / 방수 내 화학성 / 내식성 표면에 매끄러움을 증가시키고 투명
코팅 두께의 조절 및 균일한 코팅 1. Korea Journal of Materials research Vol.14. No.6(2004) 2. IMECE

4 ▶ Type of parylene 상대적으로 분자의 크기가 작고 가벼워 월등한 투과력을 가지고 있어 Long tube와 같은 제품 코팅에 유리, 또한 낮은 유전 율을 가질 뿐만 아니라 높은 저항 값을 갖는다. 염소분자가 존재 하지 않아 특히 의료용 제품에 적합하다. Parylene N-type 다른 다이머에 비해 분자크기가 크기 때문에, 활동성, 틈새 침투력이 떨어지나, 물리적인 단단함을 부여하며, 뛰어난 내화학성을 갖고 있다. 또한 수율이 다른 종류에 비해 좋다. Parylene D-type 뛰어난 방습성을 갖고 있으며, 상대적으로 높은 유전력과 높은 증착력을 갖는다. 침투력은 DPX-N에 비해 낮으나,그밖의 성질은 유사하다. 일반적으로 가장 범용 적으로 사용되며,PCB,전자장비 등의 모재에 우수한 방습성을 부여한다. Parylene C-type

5 ▶ CVD (chemical vapor deposition)
10-4torr Pyrolysis 660도 Vaporizer 120도 Substrate Source materials Dimer monomer polymer

6 ▶ CVD (chemical vapor deposition)
Substrate

7 ▶ Application of parylene
MEDICAL MEMS 제품보호로 탁월한 shelf-life 증가 박막필터의 강도증가 절연 FDA 승인물질/방수성 매끄러움 증가/절연 오염방지 Electrical MILITARY DISPLAY 전쟁상황에서 존재할 수 있는 화학물질,먼지 혹은 습기에 대한 우수한 보호막 희발성 물질이나 촉매가 없음 코팅 작업 용이성 유지보수에 편리성 저렴한 유지 보수비용 1. Korea Journal of Materials research Vol.14. No.6(2004) 2 Journal of Polymer Science Part B: Polymer Physics Vol. 43, Issue 12 , Pages

8 감사합니다 신소재 전자재료과 백현석 여러 가지로 시도해봤지만, 만들기가 상당히 어려웠습니다. 나름 다르게 해보려고 했는데 마땅히 내용을 쓸게 없어 내용부분은 그대로 이용합니다.