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Linear Motion Unit (X-Y STAGE)
製品の用途及び性能 반도체 제조공정의 NANO SCALE의 초정밀 위치 제어가 가능. 반도체 제조 장비에 장착 되어 정밀 왕복 이송 가능. 친 환경성 ,초정밀 위치 결정 성능 동시 확보. - Stroke : 350Х350 mm - Straightness / Position Accuracy / Repeatability : 200 nm - Rail 평면도 ,직진도,평행도 : 2 ㎛ 이내 <ceramics X-Y stage> <ceramic Z stage> 位 置 決 定 度 < Motion error 측정 결과> <개발동향> 구 분 석정반 주철(FCD 300) 세라믹 (ALUMINA ) 곡 강 도 [M pa] 20 500 ~ 6276 360 흡 수 율 [%) 4.61 0.0016 선 팽창 계수 [x-10-6/℃] 7.89 9.2 ~ 11.80 6.8 활용분야: 반도체 제조장치(Stepper, Wafer검사장비 등)、 IT장비(X-Y stage 등)、 정밀 측정기기(3차원 측정기、 자동화 기계(산업용 Robot)、 MICRO 공작기계. MAX TECH. Co. Ltd 대구광역시 달서구 신당동 TEL : FAX :
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다공질 세라믹의 전자 현미경 사진 기공도 10~48% 기공 SIZE 3~5㎛
Porous Ceramic Vacuum Chuck Vacuum 1000liter/min porous ceramic 흡착 원리 다공질 세라믹의 미세기공에 의한 전 영역에 균일 VACUUM 압력 전달 미세 기공에 의한 미 부착 면 부분의 진공 손실이 최소화 되어 흡착 가능 다공질 세라믹의 전자 현미경 사진 기공도 10~48% 기공 SIZE 3~5㎛ 부분 흡착 가능 1200mmX1400mmX0.4T Glass 흡착 Spec. Porous Ceramics Density 1.8 g/c m 3 Porosity 45~48% Bending Strength 50 Mpa Young’s Modulus 50 Gpa MAX TECH. Co. Ltd , Shindang-Dong, Dalseo-Gu, Daegu, KOREA TEL : FAX :
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