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Total Clean Room System Engineering
CLEAN ROOM 측정 REPORTS 1. 청정도 측정 위치 에스티크린룸
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2. 청정도 측정 Data 에스티크린룸
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2. 청정도 측정 Data 에스티크린룸
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2. 청정도 측정 Data 에스티크린룸
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3. 청정도 측정 결과 청정실의 성능평가 기준에 따라 측정 Particle 입경 기준에 따라 측정 청정도 설계기준치 : 10,000~100,000 Class 사용 측정기 : 파티클측정기( HHPC-2/RION ) Sheet Data와 같이 C/R 청정도 측정 평균값은 로 설계기준치로 관리되고 있습니다. 구 분 J2J3 C/R J2_UT J3_UT 청정복도 비 고 청정도(0.3㎛) 측정일자 : 청정도(0.5㎛) 에스티크린룸
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