What is Microscope? Devices that magnify details that are not visible to the unaided eye. Optical(light) Microscope Electron Microscope
나노 분석을 위한 현미경 전자현미경(Electron Microscope): 주사전자 현미경(SEM, Scanning Electron Microscopy) 투과전자 현미경(TEM, Transmission Electron Microscopy) 원자현미경(Atomic Microscope): 주사탐침 현미경(SPM, Scanning Probe Microscopy)
Eye and Microscope Human Eye: 0.1mm resolution Optical Microscope: 150nm Electron Microscope: 0.1nm SEM: 30만배(normal SEM) TEM: 200만배
da h k M G T deca hecto kilo mega giga tera 101 102 103 106 109 1012 Unit of Length da h k M G T deca hecto kilo mega giga tera 101 102 103 106 109 1012 d c m n p deci centi mili micro nano pico 10-1 10-2 10-3 10-6 10-9 10-12 Å = 10-10m 1mm=1000um 1um=1000nm 1nm=10 Å
주사전자 현미경(SEM) SEM(Jeol, JSM-6300)
주사전자 현미경(SEM) SEM(Hitachi, S-2500C)
전계방출형 주사전자 현미경 (FE-SEM) FE-SEM(Jeol, JSM-6700F)
투과전자 현미경(TEM) TEM(Jeol, JEM-2010)
원자현미경(SPM) SPM(Seiko, SPA-400)
광학현미경의 역사 1C, K. Ptolemaeos – 유리의 확대력 발견 1595년, Zacharias Janssen – 복합현미경 발명 1660년, Johannes Faber – Microscope 용어 명명 1660년, Antonie van Leeuwenhoek – 단순현미경 발명 1665년, Robert Hooke – 현미경 제작 (condensor lens system) 1836년, Sir George Biddell Airy – Airy Disk 발견 1846년, Carl Zeiss 회사 설립 1886년, Ernst Abbe – 광학현미경의 분해능 한계 발견
전자현미경의 역사 1895년, W. Roentgen – X-ray 발견 1897년, Sir J. J. Thomson – Electron 발견 1924년, Louis de Broglie – 전자파동설 제안 1926년, Hans Busch – 전자에 대한 자계의 렌즈작용 이론화 1931년, Max Knoll & Ernst Ruska – TEM 발명(X17) 1954년
Diagram of Modern SEM