C enter for e merging e lectronic d evices Wet station ( 내부 · 외부 ) C ENTER F OR E MERGING E LECTRONIC D EVICES 관리자소속연락처 Main 홍주리이태윤 교수님 연구실 010-8890-8850.

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1 c enter for e merging e lectronic d evices Wet station ( 내부 · 외부 ) C ENTER F OR E MERGING E LECTRONIC D EVICES 관리자소속연락처 Main 홍주리이태윤 교수님 연구실 010-8890-8850 SUB 김민규김형준 교수님 연구실 016-9343-3216 SUB 강민구윤일구 교수님 연구실 010-5305-4507

2 c enter for e merging e lectronic d evices Wet station 명칭 흄후드 A (Right) : Clean booth 외부 흄후드 흄후드 B (Left) : Clean booth 내부 흄후드 서랍장 : 화학약품 보관 유기장갑유기장갑 광학현미경 N 2 gun 서랍장 : 화학약품 보관

3 c enter for e merging e lectronic d evices 흄후드 A & B 내부 흄후드 내 화학 약품 보관 시, 어 떤 약품인지 반 드시 기입할 것. 보관자 외 다른 사람들은 절대 건드리지 말 것 수돗물이므로 반도체 세정에 는 사용불가 DI water 또는 수돗물만 처리 가능 특정 자주 쓰는 화 학약품 보관통에는 지정된 화학약품만 보관할 것 Ex) IPA N 2 blowing gun 사용 후 반드시 제자리에 마이크로 피펫 피펫 tip 꽂이 테플론 통 바람 세기 조절 가능

4 c enter for e merging e lectronic d evices 흄후드 A 외부 유기장갑 : HF, HCl 등 위 험 약품 사용 시 반드시 착 용할 것 산성 용액은 폐산통에, 유기용매는 폐산유기용 매통에 버리 고, 뚜껑 꼭 닫을 것 비커를 쓰고 제대로 씻은 후 반드시 비 커 보관걸이 에 걸어놓을 것 HF, H 2 SO 4, HNO 3 등의 다 른 산과 반응 하거나 매우 위험한 산은 따로 폐액통 이 있으니 따 로 버릴 것 ! 광학현미경 & 노트북 FAN 과 LAMP 는 항상 ON 으 로 해 둘 것

5 c enter for e merging e lectronic d evices 흄후드 외부 작업대 Wafer 자르고 공간으로, 기타 물품 ( 쿠킹호일, 트위져, diamond cutter, 장갑 등 ) 이 공용으로 있으니 사용하고 반드시 정리하기 바람. 남는 조각 웨이퍼는 보관 통에 보관 관련되지 않은 다른 물품 보관 금지 작업대 공간이 많이 더러울 경우 반드시 청소할 것 파란색 킴 와이프스 보관장소 트위져,cutter 보관 남은 웨이퍼 조각 보관 스탠드 Light

6 c enter for e merging e lectronic d evices Wet station 주의사항 Wet station 내의 수도는 수돗물이므로 반도체 세정에 사용 불가함을 명시 화학약품이 현미경과 Hot plate, spin coater 등에 튀지 않도록 조심할 것 Hot plate 사용 후 반드시 전원 끄기 테플론 물품, 화학통, 비커 등의 사용을 마친 후 반드시 세정할 것 화학병은 흄후드 아래 서랍장에 잘 넣어놓고, 표기가 잘 보이도록 해 둘 것 흄후드의 FAN 과 LAMP 는 항시 ON 으로 해 둘 것 Wet station 사용을 마친 후 – N 2 gun 제자리에 – 공동사용 물품 ( 테플론 물품, 화학통, 트위져 등 ) 본래 위치에 – 화학약품 뚜껑 닫기 – 흄후드에 잠시 보관하는 화학약품의 경우 뚜껑 닫고 무슨 약품인지 반드시 기입 – 흄후드 안에 깔린 파란색 킴 와이프스가 심하게 더러워졌을 경우 교체 Wet station 은 화학약품을 다루는 곳이자, 빈번하게 사용하는 곳이므로 안전이 제일 우선시 되어야 하는 곳입니다. 첫째도 안전, 둘째도 안전입니다. 명시된 규칙을 반드 시 지킵시다.