Gas Cabinet 사양서 (NF3 1Bottle Semi-Auto)
Gas Supply System 구성 1. Gas Cabinet Case 구성 Case Material SS41 2.3t 1 BOTTLE BOX 형 Case Material SS41 2.3t 방폭 유리 철심망 5t(Defense Film Option) 검사 압력 14.7Mpa(약 150bar) Painting Structure Powder(분체열처리/아이보리) Cylinder Dimension(mm) 1 Bottle 500 X 550 X 2050 *적용 GAS명: NF3
UTILITY SECTION SIZE TYPE FLOW RATE REMARK 목 적 PROCESS 1/4” Male VCR - 목 적 PROCESS 1/4” Male VCR - 사용하고자 하는 Gas의 공급 Line VENT 1/2” 40~60 LPM Bottle 교환 및 Process Down 시 배관 내에 잔류하는 Gas를 배출해주는 Line. PURGE N2 45~60 LPM Purge용 (60-100 PSIG) 배관 내 잔류하는 Gas를 원활하게 배출할 수 있도록 하며, 배관 내부를 청소하기 위해 N2를 공급해 주는 Line. GENERAL N2 SWAGELOK 50~60 LPM Venturi용 (60~100PSIG) Vent Line의 효율성을 높이기 위해 적용된 Vacuum Generator를 구동해 주기 위한 N2 공급 Line. LEAK CHECK He 1500PSIG이상 (SiH4) Bottle change 및 Part’s 교체 등 배관 자체 Gas 누출을 Check하기 위해 He 또는 기타 Gas를 가압 공급해주는 Line.(사용하는 Gas의 1.25배 이상의 압력이 필요함) SPRINKLER LOK TYPE, FEMALE 32 GPM 31PSIG Gas Cabinet내의 Gas누출 및 기타사유로 화재가 발생 하였을 때 물을 공급하여 소화하기 위한 장치 및 Line DAMPER 100Φ DUCT 180~235 CFM 10 ~ 20 mmH2O EXHAUST(연결배관은 Φ100 이상 연결 요망) AIR SUPPLY 30~45 LPM Valve구동용 (60~80PSIG) Air Valve 및 기타 장치를 구동하기 위한 Line(N2)
Controller 구성(OMRON PLC) 시스템 사양 구 분 내 역 적용 가스 NF3 가스 공급 방식 Semi - Auto 제어 시스템 PLC Push Button 제어방식 Auto Recovery System(Not Available) 전원사양 AC 208~240V, 3A, 60Hz, 단상/3상 사용환경 온도 : 5 ~ 35℃ 습도 : 0 ~80%(Non-Condensing) 소 음 70 dB 이하 Option 사항 Valve Shutter, Leak Detector, Weight Scale