No. 연구장비명 규격 및 모델 용도 금액[천원] 비고 센터 연구장비 현황(1/4) No. 연구장비명 규격 및 모델 용도 금액[천원] 비고 1 Multi-Chamber Cluster 09SN57 비정질실리콘 박막 제조 박막형 태양전지제조 이종접합 태양전지 제조 고온급속열처리 3,000,000 2 4 probe point measurement 반도체 저항, 면저항 및 비저항 측정 20,000 3 QSSPC WCT-100 실리콘 웨이퍼 소수반송자 수명 측정 50,000 4 Resistivity Meter 박막 저항, 면저항 및 비저항 측정 5 Optical microscope 광학현미경
No. 연구장비명 규격 및 모델 용도 금액[천원] 비고 센터 연구장비 현황(2/4) No. 연구장비명 규격 및 모델 용도 금액[천원] 비고 6 Laser nano particle system 10SN011 결정질 실리콘 나노 파티클 제조 및 비정질 실리콘 박막제조를 통한 합성 200,000 7 Thermal evaporator 소면적 태양전지 전극 형성 및 금속 박막 제조 100,000 8 SM-EA 40cmX40cm 대면적 태양전지 전극 형성 및 금속 박막 제조 9 Nano-particle thin films deposition system 결정질 실리콘 나노 입자 제조 및 비정질 실리콘 박막층 합성 250,000 10 Furnace 고온열처리 장치 50,000
No. 연구장비명 규격 및 모델 용도 금액[천원] 비고 센터 연구장비 현황(3/4) No. 연구장비명 규격 및 모델 용도 금액[천원] 비고 11 One step ZnO self texturing process system ZnO 박막 제조 및 표면 구조화 100,000 12 Magnetron Sputter system 3세대 양자점 태양전지 제조를 위한 비정질 실리콘 박막 제조 200,000 13 3gun RF/DC magnetron sputtering system MS200-413G 전도성 박막 제조 및 이종접합 태양전지 투명전도막 제조 14 Solar simulator system LAB200 인공광원을 이용한 태양전지 측정 150,000 15 Screen printer 결정질 실리콘 태양전지 금속 전극 형성 20,000 (공압) 30,000 (전자식) 총50,000 (2기 합)
센터 연구장비 현황(4/4) No. 연구장비명 규격 및 모델 용도 금액[천원] 비고 16 RTP system 진공 고온 급속 열처리 공정 500,000 17 Convection oven 결정질 실리콘 태양전지 전극 소성 2,000(1기) 8,000 (총 4기) 18 Dark I-V system 암상태 태양전지 특성 분석 20,000 19 DI Water system 대용량 초순수 여과장치 20