K-307PS??? Kyowariken 한국판매처 : 재성 엔지리어링 http://www.maskcleaners.com/ Mask Aligner K-307PS??? Kyowariken 한국판매처 : 재성 엔지리어링 http://www.maskcleaners.com/
구성 요소 1. Microscope 2. Mercury Lamp 3. Mask Holder 4. Controller 5 1. Microscope 2. Mercury Lamp 3. Mask Holder 4. Controller 5. Mercury Lamp power supply 6. Vacuum Pump 크기 W 730×D 530×H 750mm
Nikon Microscope and Transformer micrpscope 2 eyepiece scope （동축 조명장치 포함） 100×,200×
Mercury Lamp and Power Supply 노광원 초고압 수은등 노광 면적 160mmφ 조도 365nm(I) 4.6 mJ/cm2 405nm(G) 13.7 mJ/cm2
Mask Holder Z축 미동 나사 XY 축 미동 나사 Θ 미동 나사 얼라인먼트용 매니퓨레타 X,Y축 미동 10mm 500μm/1회전 얼라인먼트용 매니퓨레타 Z축 미동 10mm 500μm/1회전 얼라인먼트용 매니퓨레타 θ축 미동 ±10° Z축 미동 나사 XY 축 미동 나사 Θ 미동 나사
Controller 1 2 3 4 5 1. 램프 셔터 개폐용 타이머 2. 램프 냉각팬용 ON/OFF 지연 타이머 3. Start/Stop 스위치 4. Fix, Level, Ready 스위치 5. Power ON/OFF 스위치 Fix, level, ready 스위치 - Ready : 준비완료일때 불이들어옴 - Level : 웨이퍼 홀더의 수평 유지 - Fix2 : 마스크를 떨어지지 않게 유지 - Fix1 : 웨이퍼를 떨어지지 않게 유지
램프셔터 개폐용 타이머 0.1～999.9sec 냉각팬용 ON/OFF 지연 타이머 ON : 점등시 워밍업용 (0～5min) OFF : 소등후 냉각용 (0～30min)
■DA-30S(Ultimate pressure 200 Torr) vacuum pump ■DA-30S(Ultimate pressure 200 Torr)
조작 방법 1 2 3 1. 에 마스크를 위치시킨 후, Fix1( ) 을 누른다 2. Spin Coating 한 웨이퍼를 에 위치시킨 후, Fix2( )를 누른다 3. 마스크가 장착된 을 덮고 을 오른쪽으로 돌려 잠근다 4. 상하 조절 나사 을 회전시켜 웨이퍼와 마스크를 밀착 시킨다(밀착이 되면 READY 스위치 가 점등한다) 5. Level 을 눌러 를 고정 시킨다 1 3 2 4 1 2 3 1 2 3 4
6. 상하 조절 나사 을 1회전 시켜 마스키와 웨이퍼를 500um 정도 간격을 만들어 준다 1 , 의 버튼을 돌려 웨이퍼와 마스크를 정렬시켜준다 2 3 8. 현미경을 사용하여 정밀하게 정렬시킨다 1 2 3
10. 노광 시간을 입력한다 1 9. 상하 조절 나사를 회전시켜 마스키와 웨이퍼를 밀착시킨다 (밀착이 되면 READY 스위치가 점등한다) 11. 을 눌러 노광을 시작한다. 2 ※ 주의 : 노광 시간을 잘 못 입력하여 멈춰야 할 경우, 을 눌러 중지 시킨다 3 1 2 3
PR 노광 시간 PR 종류 노광 시간(sec) AZ 1512 15 SU-8 50 50um 46~50 100um 76~80