11. Lobe Pump 가. 중소용량 나. 비접촉식 다. 운전이 쉽다 라. 건식, 습식운전 마. 축봉 곤란 바. 소음, 고가 사. Roots, PD Pump
12. Diffusion Pump 가. 구조가 간단 나. 증기압이 낮은 액체 Silicon oil, Mercury 라. 진공도 10-7 torr 까지
13. Turbomolecular pump 가. 원심고압축비 : 5 나. 다단 : 9 - 10 다. 비접촉 건식운전 라. 수명이 길고 고가 마. 다른펌프와 조합운전 바. 오염 없이 10-8 torr 사. 연동운전시 운전순서
14. 진공도와 펌프조합
15. Shaft Seal 가. Packing Seal 나. Labyrinth Seal 다. Mechamical Seal 라. Gasket * Gasket은 비운동면에 설치하고, Packing은 운동면애 설치하여 기밀을 유지시키는 기계요소.
16. Packing ℃ ℉ Flax Cotton Duck and rubber Rubber, Silicon Rubber Metallic (lead-based) Asbestos 1003 Asbestos 204 Metallic (aluminum-based) Metallic (copper-based) 38 93 149 177 218 260 371 552 829 100 200 300 350 425 500 700 1025 1525
17. Labyrinth Seal 가. 구조가 간단 나. 비접촉 고장 적다 다. 오염에 강하다 라. 동력소비가 작다
18. Mechanical Seal 가. 기밀성이 우수 나. 구조가 복잡, 정밀 다. Seal Liquid 공급필요 라. 운전이 어렵다 마. 마모성, 수명짧다. 바. 진동, 오염에 취약
19. Gasket 가. KS B 1540 Vacuum Flange 나. VF, VG Flange 다. ▽▽▽ 가공 라. Pump VG FLANGE 마. Valve VF Flange 바. 흐름 상부에 VF Flange
20. O-Ring 가. 내유성 고무 나. 내한성 고무 다. 내열성고무 (Silicon, VITON) 마. 이음매없는 Ring 1. SILICON RUBBER는 기체를 투과하는 특성이 있어 고진공설비에 사용시 주의 2. 이음매에서 접착정도에 따라 기밀을 좌우하고 외부공기 유입시 안전사고 위험.
21. Pressure Gauge 가. 연성계, 진공계(Bourdon) 나. Strain Gauge 다. Thermocouple Gauge 라. Capacitance manometer 마. Ionization gauge
22. 기타 부속설비 가. Liquid/Gas Seperator 나. Seal Liquid Supplier 다. Intercooler 라. Interconnecting piping 마. Plug Valve 바. Check valve
23. 진공압력 도달시간 T = V * N / Q ( P = Po exp(-St/v) + Pu ) A.6 T : time in minutes , V : volume of system ( cmm ) Q : flow capacity of pump( cmm) N : Natual log constant - 15 in Hg (381 torr ) N = 1 - 22.5 in Hg (188.5 torr) N = 2 - 26 in Hg (99.6 torr) N = 3 - 28 in Hg (48.8 torr) N = 4
24. 진공배관 가. 배관길이는 짧게 나. 용접배관 다. GF Flange 사용 라. Plug Valve 사용 마. 기밀시험 - 총부피, 용기에서 탈기량, 누설량 감소 나. 용접배관 다. GF Flange 사용 라. Plug Valve 사용 마. 기밀시험