제2절 공압제어밸브 공압 제어밸브의 개요 압력 제어 밸브 유량 제어 밸브 방향 제어 밸브 근접 감지 장치 공압 서버 밸브 조합 밸 브

공압 제어 밸브의 개요 압력 조절 – 힘 유량 조절 – 속도 방향 조절 - 방향

압력 제어 밸브 가. 압력 제어 밸브의 기능 (1) 힘의 세기 ㅇ 동력 : 압력과 유량의 곱   (1) 힘의 세기     ㅇ 동력 : 압력과 유량의 곱     ㅇ 동력 단위 : kgf/cm2 x cm3/sec 또는                    ℓ /min = kgf․m/s                   : 압력과 유량을 제어하여 일을 함     ㅇ 힘 : 압력과 면적의 곱     ㅇ 힘의 단위 : kgf/crn2 × cm2 = kgf     ㅇ 압력 제어 밸브         공압 실린더의 피스톤 면적에 일정한 압력을 작용시키면         힘이 발생하여 일을 하는데, 이 힘의 크기를 조절하는데         사용되는 것

 (2) 압력 제어 밸브의 기능 (가) 감압 기능      공기 압축기에서 발생한 고압의 압축 공기를 적정압력으로  감압하여 안정된 압축 공기를 공압 기기에 공급하는 기능 (나) 안전 기능      공기 탱크와 공압 회로내의 공기 압력이 규정 이상으로 될 때, 공기 압력이 상승하지 않도록 대기 중으로 혹은  다른 공압 회로 내로 빼내주는 기능 (다) 작동 순서를 제어하는 기능    공압 회로 내의 공기 압력에 따라 다른 회로의 작동 순서를 제어하는 기능 (라) 신호처리 기능      공기 압력을 검출해서 설정값과 비교하여 전기 접점을 개폐함으로써 전기 신호를 내는 기능

압력제어밸브의 기능

① 적정한 공기 압력을 사용하여 압축 공기의 소모를 방지 하고, 공압기기의 내구성 신뢰성을 확보  (3) 압력 제어 밸브의 회로 내 역활     ① 적정한 공기 압력을 사용하여 압축 공기의 소모를 방지        하고, 공압기기의 내구성  신뢰성을 확보     ② 부하의 변동에 따라 변화하는 공기 압력을 일정하게 제어        하여 안정된 압축 공기를 공급.     ③ 공압 장치가 설정 압력 이상으로 될 때에 공기를 배출시켜        안전을 도모     ④ 전기 신호를 사용하여 공기 압력의 유무를 감시하거나,        각종 기기의 압력 제어

시퀀스 밸브(sequence valve), 압력 스위치(pressure valve) 등 작동 형식에 따라 나. 압력제어밸브의 종류     압력 조절 밸브(pressure regulating valve),      릴리프밸브(relief valve), 시퀀스 밸브(sequence valve), 압력 스위치(pressure valve) 등   작동 형식에 따라 직동형 - 릴리프식, 논브리드식, 브리드식 파일럿형 - 정밀도가 높은 압력 조절 

(1) 압력 조절 밸브    ㅇ 명칭 : 감압 밸브(pressure reducing valve), 압력 조절기(pressure regulator)    ㅇ 목적 : 공기 압축기에서 생산된 압축 공기의 압력을 사용 공압장치에 맞는 압력으로 감압하여 안정된 공압을 공급    ㅇ 기능 : 압력 조절 밸브의 공기 유입구(1차측)와 토출구(2차측)에서 유량의 변화와 같은 사용 조건의 변동에도 설정 공압의 변동을 최대한 억제하며, 압축 공기의 습도를 낮추는 기능

직동형 압력 제어 밸브보다 정밀도가 높은 압력의 조절을 목적으로 파일럿 기구를 추가  ㅇ 논 브리드식 압력 제어 밸브는 릴리프 밸브시트에 릴리프 구멍이 없는 구조이며, 브리드식은 릴리프 밸브시트로부터 항상 소량의 공기를 방출하는 구조로  되어 신속한 압력의 조절이 가능     ㅇ 파일럿형 압력 제어 밸브      직동형 압력 제어 밸브보다 정밀도가 높은 압력의 조절을 목적으로 파일럿 기구를 추가

 (나) 압력 제어밸브의 특성  압력조정 특성, 유량 특성, 압력 특성, 히스테리시스 특성, 릴리프 특성, 감도 특성 등   ① 압력조정 특성   압력 제어밸브의 핸들을 돌렸을 때 회전각에 따라 공기 압력이 원활하게 변화하는 특성   ② 유량 특성   2차측 유로를 조여서 유량이 0인 상태에서 공기 압력을 설정한 후에 2차측 유량을 서서히 증가시켜 가면 (밸브의 핸들로 조작), 2차측 압력은 서서히 저하됨 압력 저하 정도가 작을수록 유량 특성이 좋은 압력 조절 밸브 임. 직동형 보다 파일럿형 이 우수 직동형은 일정유량 이상에서는 2차측 압력이 급격히 저하 되므로 압력강하에 대비하여 설정압력의 6.8kgf/cm2 이내의 범위에서 사용하는 것이 좋음.

 ③ 압력 특성     압력 특성은 1차측 압력의 변동에 따라 2차측 압력 변동이       어느 정도 변화하는가 하는 특성  ④ 재현성, 히스테리시스 특성과 릴리프 특성        ㉮ 재현성 : 1차측의 공기 압력을 일정 공기압으로 설정하고 2차측을 조절할 때 설정압력의 변동 상태를 확인 하는 것.  즉 장시간 사용 후 변동 상태의 확인    ㉯ 히스테리시스 특성 : 압력 제어 밸브의 핸들을 조작하여 공기 압력을 설정하고 압력을 변동시켰다가, 다시 핸들을 조작하여 원래의 설정값에 복귀시켰을 때, 최초의 설정 값과의 오차. 이는 밸브의 내부 마찰 등에 그 영향이 크게 나타남.    ㉰ 릴리프 특성 : 2차측 공기의 압력을 외부에서 상승시켰을 때 릴리프 구멍에서 배기되는 고압의 압력특성을 말하며 감지하지 못하는 영역이 존재 함.

㉯ 밸브 본체의 시트부나 접촉되어 활동하는 부분에 이 물질 의 침입을 방지할 수 있도록 반드시 필터를 설치  ⑤ 압력 조절 밸브의 사용상 주의점  ㉮ 검토 항목을 참고하여 선정  ㉯ 밸브 본체의 시트부나 접촉되어 활동하는 부분에 이 물질 의 침입을 방지할 수 있도록 반드시 필터를 설치  ㉰ 2차측 부하에 상응한 밸브를 선택하여 조절 공기 압력의 30～80% 범위 내에서 사용하도록 함  ㉱ 압력 조절밸브의 압력, 유량, 히스테리시스 특성 및 재현성 등을 조사  ㉲ 사용 목적에 맞는 규격의 밸브를 선정  ㉳ 회로 구성상 여러 개의 감압 밸브가 설치되는 경우, 회로전체의 정상 상태가 유지되도록 주의

최고 허용 압력이 초과되면 기기의 파손, 필요 이상의 출력이 발생되므로 이를 방지하기 위하여 공기탱크에 설치          (2) 릴리프 밸브    ㅇ 목적      최고 허용 압력이 초과되면 기기의 파손, 필요 이상의 출력이      발생되므로 이를 방지하기 위하여 공기탱크에 설치 ㅇ 안전 밸브(safty valve)      회로 중의 압력이 최고 사용 압력의 한계를 초과하지 않도록  하는 목적에 사용되며 압력 상승에 의한 회로 중의 기기  파손의 방지, 과다 출력을 방지로 이용    ㅇ 종류 : 구조에 따라 직접 작동형과 간접 작동형  

(가) 직접 작동형 릴리프 밸브     직접 작동형은 포핏(poppet)에 의해 공기를 차단하게 되는데 한쪽은 회로의 압축 공기와 접해 있고 반대편은 스프링의 반력이 작용되고 있는데, 회로의 압력이 상승하여 설정 공기압에 도달하면 반대편의 스프링 반력을 이겨 압축공기를 방출함으로서 회로의 안전을 도모 직접 작동형 릴리프 밸브의 구조

구성 : 직접 작동형과 달리 주 밸브와 보조 밸브 부분으로 구성  (나) 간접 작동형 릴리프 밸브 구성 : 직접 작동형과 달리 주 밸브와 보조 밸브 부분으로 구성  회로의 압력이 설정압에 도달하면 압축 공기와 접해 있는 주 밸브의 미세한 구멍을 통하여 보조 밸브의 포핏이 열리게 되면 주 밸브에 작용하던 배압의 균형이 무너져  주 밸브가 개방되어 압축 공기를 방출 간접 작동형 릴리프 밸브의 구조

(다) 직접 작동형과 간접 작동형 릴리프 밸브의 동작 특성 ① 직접 작동형과 간접 작동형 릴리프 밸브는 그 기능에서의     ① 직접 작동형과 간접 작동형 릴리프 밸브는 그 기능에서의        역할은 같음     ② 직접 작동형의 경우 실제 설정된 압력보다 낮은 압력에서        공기의 방출이 시작     ③ 간접 작동형은 설정 압력의 90% 이상에서 릴리프 작용이        일어나므로 직접 작동형에 비해 우수하나 직접 작동형에        비해 응답 시간은 늦어짐   

3) 시권스 밸브    공압이 파일럿 라인 Z에 작동되어 설정압력에 도달하면 파일럿 스풀(spool)을 움직여 반대쪽에서 작용하는  스프링의 반력을 이기고 볼 포핏을 개방하여 P에서 A로  공기의 통로를 열게 됨.

(5) 압력 스위치   (가) 목적     공압 회로에서 설정 공압에 도달하면 전기 접점을 개폐하여 전기적인 신호를 발생시킴   

3. 유량 제어 밸브 기능 : 공압 장치에서 액추에이터의 속도에 관한 제어   기능 :  공압 장치에서 액추에이터의 속도에 관한 제어   목적 :  공압 실린더에 일을 시킬 때 시간이 제어가 필요할 때, 실린 더에 압축공기의 유입되거나 배출되는 유량을 조절.   용도 :   ① 공압 모터와 같이 연속 회전하는 액추에이터는 유량 조 절에 의해  회전수를 제어 ② 이송, 시간제어등   구조 : 밸브 내부의 공기 통로의 저항, 즉 통로 면적을 가변 하는 (교축)구조   교축 구조 :     ① 오리피스(orifice)형     ② 초크(choke)형

  가. 유량 제어 밸브의 종류      ① 교축 밸브(throttle valve)      공압 회로의 유량을 일정하게 유지하려 할 때 사용   ② 속도 제어 밸브(throttle relief valve, one way flow  control valve)      공압 실린더의 속도 제어를 위하여 방향 제어 밸브와 실린더의      중간에 설치   ③ 배기 교축 밸브      방향 제어 밸브의 배기구에 설치하여 실린더의 속도를 제어   ④ 급속 배기 밸브 (quick releuse valve, quick exhaust valve)      공압 실린더의 배기 유량을 증가시켜 실린더의 속도를  증가  

(1) 교축(throttle) 밸브  본체 통로와 원추체 간의 틈이 변화하고 통과 유량을 제어 함.  교축 나사는 설정 후 로크 너트를 고정 시킬 필요가 있음    공기 압력의 신호 감시나  전달 제어 요소에 이용( 소형) 회로의 주 라인에 설치되어 공급 공기량의 제어 또는 정지 밸브로 사용( 대형)

(2) 속도 제어 밸브   유량을 조절하고 방향에 따라서 교축 작용을 하는  밸브   교축 밸브와 체크 밸브를 조합시켜 구성한 속도 조절 밸브

① 미터 인 제어 방식 : 액추에이터에 공급되는 유량을 제어하는 방식   (가) 속도 제어 방식 공압 실린더나 모터의 제어 회로에서는 속도 제어 밸브가 방향제어 밸브와 공압 액추에이터 사이에 설치되며 속도 제어 방식에  따라 미터 인 회로, 미터 아웃 회로가 있음.   ① 미터 인 제어 방식 : 액추에이터에 공급되는 유량을 제어하는 방식   ② 미터 아웃 제어 방식 : 액추에이터에서 배출되는 유량을 제어하는방식, 미터 인 회로 보다 미터 아웃 회로가 제어성이 우수 함.   (다) 미터 인 회로 보다 미터 아웃 회로가 제어성이 우수한 이유  ㅇ 액추에이터에 공급되는 유량이 교축되지 않아 공급되는 공기 의 양 및 사용 공기압이 쉽게 얻어져 충분한 출력이 얻어짐.  ㅇ 실린더에서 피스톤의 이동 도중에 부하가 증가되어도 속도의 영향이 적음  ㅇ 배출되는 공기의 양을 조절함으로써 이동 도중 부하의 감소 에도 속도의 영향이 없고 매우 안정된 속도를 얻을 수 있음.

(3) 급속 배기 밸브(quick exhaust valve)    공압 실린더와 방향 제어 밸브 사이에 속도 제어 밸브를 설치 하여실린더의 속도를 증가할때 사용  에어 탱크 내의 공기를 급히 방출할 필요가 있을 때  이 밸브는 실린더에 직접 연결하거나 가능한한 가깝게 설치

유량을 교축 밸브를 사용하여 조절한 후 유속을 음속 이상으로 올라 가지 않도록 할 것.  나.유량 제어 밸브의 사용상 주의점   유량을 교축 밸브를 사용하여 조절한 후 유속을 음속 이상으로      올라 가지 않도록 할 것.     : 유속이 음속 이하의 조건이 되려면 밸브의 출구 압력을 입구       압력의 1/2 이하로 하지 않을 것.   유체의 유량만 교축하여 제어하거나, 압력만을 제어 하기는 매우      어려워 유량이 교축되면 압력 또한 동시에 떨어지게 됨.

다. 속도 제어 밸브의 사용상 주의점   속도 제어 밸브는 관로의 용접 변화에 따라 제어성이 떨어지기 때문에 가능한 제어 대상과 가깝게 설치하여야 함.   밸브의 크기 선택에 주의해야 함. ( 사용하는 공압 액추에이터의 지름에 맞추어 선정하나, 제어 흐름의 유량 특성이나 자유 흐름의 유량도 검토해야 함)   속도 제어의 방식은 공기의 압축성 때문에 가급적 미터 아웃 방식을 선택하고 설치시에 교축되는 방향을 정확하게 하여야 함.  

바. 속도 제어 밸브의 사용상 주의점   속도 제어 또는 유량의 조절시에 설정값에 도달해 조정이 끝난 후에 고정용 나사를 고정하여 일정 유량이 제어되게 함.    속도 제어 밸브는 좁은 틈으로 공기를 유출시키므로 그 틈새가  먼지나 이물질에 의하여 막히지 않도록 공기 청정화에 각별히 주의를 기울여야 함.

4. 방향 제어 밸브 공기압 회로에 있어서 실린더나 기타의 엑추에이터로 공급하는 공기의 흐름 방향을 변환시키는 밸브  가. 방향제어 밸브의 기능 공기압 회로에 있어서 실린더나 기타의 엑추에이터로 공급하는 공기의 흐름 방향을 변환시키는 밸브

 나. 방향제어 밸브의 기호 표시 방법 밸브의 표시법

밸브의 연결구 표시법 1 2, 4, 6 3, 5, 7 12 14

다. 방향 제어 밸브의 분류 ① 밸브의 기능에 의한분류 ② 밸브의 조작방식에 의한 분류 ③ 밸브의 구조에 의한 분류 다. 방향 제어 밸브의 분류 ① 밸브의 기능에 의한분류 ② 밸브의 조작방식에 의한 분류 ③ 밸브의 구조에 의한 분류 ④ 밸브의 포트의 크기에 의한 분류

가. 기능에 의한 분류  포트수 : 밸브 주관로를 연결하는 접속구  위치의 수 : 밸브의 전환상태의 위치   

나. 조작방식에 의한 분류 4포트 2위치 누름 버튼 조작 스프링 복귀 밸브

② 슬라이드식 – 세로 슬라이드, 세로평 슬라이드  다. 밸브의 구조에 의한 분류  ① 포핏식 -  볼 시트, 디스크 시트.  ② 슬라이드식 – 세로 슬라이드, 세로평 슬라이드 

1) 포핏 밸브(poppet valves)  ① 포핏 밸브의 연결 구는 볼, 디스크, 평판, 원추에 의하여 열리거나 닫힌다  ② 밀봉효과가 우수하고 스프링이 파손되어도 유체압으로 닫힌다  ③ 구조가 간단하여 먼지 등의 이물질의 영향을 받지 않는다  ④ 짧은 거리에서 개폐할 수 있어 전환속도가 빠르다  ⑤ 공급 압력이 밸브에 작용하기 때문에 큰 변환 조작이 필요하며 다방향 밸브가 되면 구조가 복잡하다

볼 시트 밸브 구조가  간단하고 가격이 싸다 두개의 제어 위치(열림, 닫힘)와 두개의 연결 구(P.A)를 가지므로 2/2-way, 플랜저를 통한 배출공을 갖는 3/2-way 밸브도 있다

작은 거리를 움직여도 공기가 통하는 단면적을 충분히 얻을 수 있어 반응시간이 짧다 디스크 시트 밸브 밀봉이 우수하고 간단하다 작은 거리를 움직여도 공기가 통하는 단면적을 충분히 얻을 수 있어 반응시간이 짧다 먼지에 민감하지 않기 때문에 내구성이 좋다 3/2-way 밸브는 운동 속도가 아주 작은경우에는 실제적인 작업 없이 많은 압축 공기가 대기로 방출된다

 2) 슬라이드 밸브 내면을 정밀히 가공한 원통에 홈이 있는 스풀을 끼워 슬리브의 내측으로 이동해서 그위치에 따라 유로의 연결상태를  변환하도록 되어 있다   밸브가 압력에 따른 힘을 받지 않기 때문에 작은힘 으로 밸브 변환이 가능  스풀의 형상에 따라 복잡한 변환 기능을 간단하게 할 수 있어 솔레노이드 밸브등 자동밸브에 사용한다  단점으로 메탈 실의 경우 미끄럼 면에 작은 틈새가 있어 소량의 공기 누출  미끄럼 면이 정밀한 치수로 가공되어 이물질 침입을 방지하여야 한다  공기압질의 관리및 윤활유 관리를 하여야한다  패킹 실의 경우 공기 누출은 없지만 재질에 따라 급유가 필요한 것이 있다  

  세로 슬라이드 밸브 이 밸브는 구조가 간단하다. 작동에 요구되는 힘은 포핏 밸브에서와 같이 스프링이나 압축공기에 의한 반력이 없으므로 작다.  수동, 기계적, 전기적 및 공압 등과 같은 모든 형태의 작동 방법을 택할 수 있으나 작동거리는 크며 스풀과 틀의 내경이 0.002 - 0.004mm를 초과하면 누출 손실이 크다

세로 평 슬라이드 밸브 밸브를 전환하기 위한 파일럿 스풀을 갖고 있으나 각 선들은 별도의 평 슬라이드에 의해 연결되거나 분리되며 평 슬라이드가 내장된 스프링이나 압축공기에 의하여 조절이 되므로 마모가 일어나도 밀봉이 된다. 파일럿 스풀 자체는 O링에 의하여 밀봉된다

다) 판 슬라이드 밸브 일반적으로 손이나 발로 작동시킬 수 있게 만들어져 있다. 이 밸브는 주로 3/3-way 밸브나 4/3-way 밸브로 만들어지며 실린더의 피스톤 로드가 행정거리 범위내의 임의의 거리에 멈추는 것이 가능하다

솔레노이드 밸브( Solenoid valve) 전기 신호에 의해 전자석의 힘을 이용하여 밸브를 움직이는 전환밸브로 솔레노이드부와 밸브부로 되어있다   - 직접 제어밸브(직동식) : 자력이 충분하지 못하여 작은 곳에 사용하며 스윗칭 시간이 느리다   - 서보 제어밸브(간접작동) : 파일럿 솔레노이드 밸브와 공기로 작동되는 주밸브로 구성되어 있다 ※ 솔레노이드 크기를 작게 하기 위하여 파일럿 솔레노이드 밸브와 공기로 작동되는 주 밸브로 구성

1/8 1/4 3/8 1/2 3/4 1 미터호칭 6A 8A 10A 15A 20A 25A 라. 포트의 크기에 의한 분류  1) 오리피스의 크기 : 밸브 내부 통로의 가장 좁게 교축된 부분을 말하며 원형일 경우 지름의 크기로 표시하며 원형이 아닐 경우 원형 단면으로 환산한다 2) 배관 접속 구의 크기 : 접속 구의 입구 지름으로 결정하는 것으로 밸브의 호칭지름이라 한다 3) 밸브의 유량계수( Cv ) :  15도의 물을 밸브의 입구와 출구의 압력차 0.07Kg/cm2 의 상태로 1분간에 유출된 양을 미국의 갈론 단위로 표시한 수치이다 인치호칭 1/8 1/4 3/8 1/2 3/4 1 미터호칭 6A 8A 10A 15A 20A 25A

마. 방향 제어 밸브의 특성  1) 유량특성 : 전환밸브의 저항, 유체의 유통능력을 나타내는 척도로 입구압력을 변화 시켰을 때 출구의 압력 상태와 유량의 관계를 표시하며 그 값으로는  Cv값 또는 유효 단면적(밸브의 호칭치수) 등의 용량 값으로 표시  2) 누출량 : 공기의 누출은 실 기구(seal mechanism)에 의해서 다르다. 패킹 실에서는 거의 0에 가까우며 큰 경우라도 수십 cc/min 이다 메탈 실(metal seal)에서는 어느 정도 허용하나 그 범위는 수십 - 수천 cc/min 이다

마. 방향 제어 밸브의 특성  3)작동압력 : 최고 사용 압력은 7Kg/cm2이며 최저 사용 압력은 대기압이고 2 포트인 경우 1Kg/cm2 이상이며 3 이상의 포트 에서는 2Kg/cm2 이상이 된다 4) 응답시간 특성 : 밸브에 입력 신호가 가해진 시간부터 출력이 어느 규정 값에 이를 때까지의 시간을 말하며 인력이나 기계 조작 밸브는 문제가  없으나 솔레노이드 밸브등은 응답 시간이 중요하다 

바) 방향 제어 밸브의 취급시 주의사항 제원압력의 범위내에서 사용한다. 특히 저압에서 사용하는 경우에는 최저 작동 압력에 주의한다 방향 제어 밸브를 선정할 때에는 압력이나 유량조건에 맞는 것을 선택한다 방향 제어 밸브의 유량을 검토하는 경우 제어 밸브의 배관이나 이음등을 포함하여 검토한다 공급공압회로에서 반드시 여과기를 사용하여 먼지, 응축수 등을 확실하게 제거한다 무급유 제원이 아니 밸브는 반드시 윤활기를 사용한다. 이때는 터빈오일 1종 또는 2종을 사용한다 진동이 있는 곳에는 되도록 부착하지 않는다 온도는 통상 5도 – 60도 사용한다 솔레노이드 밸브의 조작전압은 ±10%의 법위에 있어야 한다 솔레노이드 밸브의 통전 시간이 길면 코일이 소손되거나 패킹류에 경화기 일어난다

4. 그밖의밸브 가) 체크밸브(check valae) 한쪽 방향으로의 공기의 흐름을 완전히 차단하며 반대방향으로는 적은 압력 손실로 흐르게 한다

4. 그밖의밸브 나) 셔틀밸브(shuttle valve) 이 밸브는 양 제어 밸브 또는 양 체크 밸브라고도 하며 2개소 이상의 방향으로부터의 흐름을 1개소로 합칠때 사용한다

4. 그밖의밸브 다) 2압 밸브 이 밸브는 2개의 입구 X와 Y가 있으며 1개의 출구 A가 있다. 압축 공기가 2개의 입구 X와 Y에 모두 흐를 때 출구 A에 공기가 흐른다

4. 그밖의밸브 라) 급속배기 밸브(Quick-exhaust valve) 급속배기 밸브는 실린더의 피스톤 속도를 증가시키는데 사용된다 . 이 밸브는 특히 단동 실린더에서 귀환 행정 시간을 감소 시켜줄 수 있다

4. 그밖의밸브 마) 차단밸브(shutr valve, stop cock) 공기의 흐름을 차단하거나 흐르게 한다 . 구조에 따라 글로우브 배브, 게이트 밸브, 콕 등이 있다

5. 근접 감지 장치 가. 공기 베리어(air barrier) 자유 분사의 원리에 의하여 작동되며 1개의 분사 노즐과 짝을 이루는 수신 노즐로 구성 두노즐은 입력포트(Px)에 0.15bar 정도의 공압이 공급되며 최대 공급 압력은 분사노즐에 4bar 수신노즐에 0.5bar P의 공기압력이 충돌하여 수신노즐 A에 출력신호를 준다

나. 중간 단속 분사 감지기 방향 센서는 배압의 원리에 의하여 작동되며 물체의 존재 유무 및 작은 간극의 감지도 가능, 감지거리는 1 – 6mm 정도

다. 반향 센서 반향 센서는 존재 유무 및 작은 간극의 감지도 가능, 감지거리는 1 – 6mm 정도, Px에 0.2bar 의 압축공기를 공급하고 공기가 방해를 받게 되면 a 통로에 압력이 발생한다

라. 배압감지기 배압감지기는 물체의 최종 위치를 확인하는 곳에 효과적이므로 리미트 스위치나 스토퍼로 사용된다