Company Profile 메포스 (MAPOS) 2017.10. 22

Overview Company : (주) 메포스 (MAPOS) President : Choi, Wan-Soo Founded : 2016. 09. 19 Location : 경기도 오산시 동부대로 341 Products : 물류 자동반송 System - 반송장치 OHT 제작/설치 (조정,신뢰성 평가,CS,제품 관리) - 저장장치 Stocker 제작/설치 (조정, 신뢰성 평가, CS) 조직 : 현재 38명 1/7

경영 방침 고객 품질 실현 기술 중시 낭비 제거 - 품질을 최우선하고, 최고의 제품과 최적의 서비스 제공 (제품을 만드는 것이 중요한 것이 아니라, 목적 있는 제품을 만드는 것이 더 중요.) 기술 중시 - 사람과 기술을 중시하여 미래 가지 창출 (뛰어난 Eng’r가 되고 싶으면 항상 생각하고 행동하라. ) 낭비 제거 - 고객의 불만(제안)이 즉 기회이다. - 불필요한 불합리 개선을 통한 고객 신뢰도 향상 2/7

Products 물류 반송 OHT 시스템이란 ? - 반도체 ① 생산 설비 間, ② Stocker 間, ③ Stocker to 생산설비 間 Wafer 용기를 무인 자동 반송하는 System 자동반송 System OHT STB Rail FOUP 자동 반송 [OHT] OHT가 FOUP를 생산설비에 Load/Unload OHT가 FOUP를 Stocker에 Load/Unload [FOUP] 1 - Rail : OHT 주행로 - OHT : Rail을 따라 FOUP를 반송하는 Robot (Over Head Transport) - Stocker : FOUP 저장 창고 - STB : FOUP 저장 선반 - FOUP : Wafer 담는 용기 2 [반도체 생산설비] [Stocker] 3/7

Products 자동반송 Configuration ① ② ③ ① : MCS ② : OCS Rail  반도체 FAB Layout ① : MCS ② : OCS ③ : Rail + OHT Vehicle 4/7

Products             OHT 동작원리  Process Equipment Stocker 작업할당 경로탐색 주행관리 유휴 OHT 양보설정       Unload 작업 Load 작업  Rail  OHT3 OHT1     OHT2 대기 OHT OUT IN Process Equipment Load Port (IN/OUT) Stocker 5/7

Products OHT Vehicle 국산화 사양 [주행부] [Slide부] [Hoist부] [Hand부] 6/7 FOUP OHT V6 주요 사양 모델명 OTS-WT06 Payload 10 kg Velocity - 직선/곡선구간 - 분기직선/곡선 - Cross 4.2 / 1.0 ㎧ 1.0 ㎧ 가속도 / 감속도 2.5 ㎨ / 3.5 ㎨ 이적재 시간(E84 포함) EQ : 8sec, STB, Stocker : 7sec 이적재 작업 정도 ±1mm Hoist Spec 2.9M Sliding(shift) Spec. 설비측:400mm, 통로측:500mm Rotate Spec. ± 5°(삭제) 분기/합류 방식 VHL self switching 조향 시간 0.5 sec Drive Device Friction Drive 곡선 반경 500mm Size - Vehicle - Rail 437.5(W)*854(D)*915(H) 397(W)*314.5(H) 무게 - Vehicle 95Kg 6.12 Kg/m (직선), 70 Kg/EA (분기) 전원 장치(HID) 비접촉 전원 장치, 30 Kva [주행부] [Slide부] [Hoist부] [Hand부] 6/7

Products Stocker 사양 : 생산되는 Wafer(FOUP)를 저장하거나, 다음 작업하기 위해 임시로 보관할 수 있도록 만든 무인 저장 창고 [Stocker Robot] Item Specification  Size [mm] 4,200L*1,430W*3000H  Crane 방식 Travel Type  I/O Module 구성 Manual Port (2 Port)  OHT Port (8 Port)  Storage Capacity 0000개  Shelf 5단 8열  반송대상 300mm FOUP (10kg)  Clean도 Class 10 [0.1㎛]  Crane 승강/ 이동축 Speed 각 120, 130 m/min  이적재 Cycle Time 12 sec 이내  통신 방식 Ethernet 통신  ID 인식 방법 RF-ID 인식 (Inventory확인기능 Robot탑재) In/output Conv. 7/7

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